XP241E 机械手册 MEC-XP241-1.0CM.pdf - 第66页
第 4 部 第1章 安置 Edition 1 .0 4- 1 - 1 XP-24 1 E 机械手册 Table0 1 CM 1 . 1 . 1 . 1 . 安 安 安 安置 置 置 置 要点 要点 要点 要点 把水平板放在指定的位 置，以确保 XP-24 1 E 的水平。 此外，需要根据基板的 搬运高度，选 用适合的水平 板。 单位 :mm 基板搬运高度 900 950 965 水平板的高度 1 66 0 7 5 备 备 备 备注 注 …
第四部
第四部第四部
第四部
安装
安装安装
安装
第 4 部 第1章 安置
Edition 1.0 4-1-1 XP-241E 机械手册
Table01CM
1.
1.1.
1. 安
安安
安置
置置
置
要点
要点要点
要点
把水平板放在指定的位置，以确保 XP-241E 的水平。
此外，需要根据基板的搬运高度，选用适合的水平板。
单位:mm
基板搬运高度 900 950 965
水平板的高度 166075
备
备备
备注
注注
注)
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根据
根据根据
根据安
安安
安置条件，使用防震垫板时为＋
置条件，使用防震垫板时为＋置条件，使用防震垫板时为＋
置条件，使用防震垫板时为＋12mm
12mm12mm
12mm。
。。
。
方法
方法方法
方法
1. 参照下图布置水平板。
2. 把 2 个水平仪装在主机的机座上。(横向和纵向)
3. 转动各个水平螺栓调整高度。
4. 确认基板的搬运高度、机器的水平度正确之后，请把各个锁定螺帽拧紧。
第1章 安置 第 4 部
XP-241E 机械手册 4-1-2 Edition 1.0
笔记
笔记笔记
笔记:
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