RX-8_安装要领书.pdf - 第22页
安装要领书 19 4-4 空气源的连接和真空泵的运转 4-4-1 一次压缩空气源的连接 将所需空气源导入本机，调整压力。 警告 关于工厂侧一次压缩空气，供给气体 ■ 请务必使用压缩空气，而不要使用除此之外的流体。 ■ 含有大量水分的压缩空气会造成装置运行故障 。请用户自行准备空气 干燥器，排水收集器等水分去除装置进行处理。 ■ 压缩空气内含有化学药品，以及含有机溶剂的 合成油，盐分，腐蚀性 气体等物质时，会造成装置损坏和运行故障，请勿供…
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4-3 前工序机器和后工序机器的信号电缆连接
为了配合前后工序的机器和基板接送的时机等，连接相互间的信号电缆。
■ 准备物品
与前工序机器及后工序机器的连接电缆（选购项）：从以下
4
种电缆中选择。
主机侧
前工序侧、后工序侧
电缆长度
1
SMEMA
规格
AMP (14P)
插头
SMEMA
规格
AMP (14P)
插头
0.35m
2
1m
或
3m
3
MOLEX (4P)
插头
3m
4
用户规格
用户指定
■ 连接器规格（单通道传送）
本机侧使用
AMP. 206043-1
（
14
针）。
・ 前工序机器
Pin 编号
信号名称
信号方向
1
REQUEST (+)
本机
→
前工序装置
2
REQUEST (−)
本机
→
前工序装置
3
READY
本机
←
前工序装置
4
G24
本机
←
前工序装置
8
SHIELD
―
・ 后工序机器
Pin 编号
信号名称
信号方向
1
READY
本机
←
后工序装置
2
G24
本机
←
后工序装置
3
REQUEST (+)
本机
→
后工序装置
4
REQUEST (−)
本机
→
后工序装置
8
SHIELD
―
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4-4 空气源的连接和真空泵的运转
4-4-1 一次压缩空气源的连接
将所需空气源导入本机，调整压力。
警告
关于工厂侧一次压缩空气，供给气体
■ 请务必使用压缩空气，而不要使用除此之外的流体。
■ 含有大量水分的压缩空气会造成装置运行故障。请用户自行准备空气
干燥器，排水收集器等水分去除装置进行处理。
■ 压缩空气内含有化学药品，以及含有机溶剂的合成油，盐分，腐蚀性
气体等物质时，会造成装置损坏和运行故障，请勿供给。
注意
工厂侧一次压缩空气请务必使用通过压缩空气净化装置供给的 0.49MPa 至 0.92MPa 的干燥
空气。潮湿空气会对元件的吸取，贴片造成不良影响，引起本机误动作。
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1. 向上抬起空气装置过滤减压阀上的手柄，在能看到橙色线的状态下，向逆时针方向旋转直至完全拧到
底，使之处于减压至 0MPa 的状态。
2. 将空气装置的一次压缩空气引入用插头牢牢连接到工厂侧一次压缩空气导管的插座上。
3. 打开工厂侧一次压缩空气侧的阀门，向本机输送压缩空气。
4. 在空气单元中的压力计的显示达到 0.49 Mpa 前，沿顺时针方向慢慢旋转空气单元/过滤减压阀的调压
手柄。
5. 压力显示变为 0.49 MPa (5 kgf/cm
2
) 后，锁住调压手柄。
请按下述操作顺序实施供给压力的调整。在进行下述作业之前，请对“第
6
章
接通主电源前的检测”的全
部项目进行确认。
1. 接通本机背面的主断路器。
(
属于变压器选项规格时，先将变压器用的断路器置于
ON)
2. 将本机正面的主开关置于 ON。
慢慢转动位于背面供气装置中的过滤调节器的调压手柄，使顶部菜单中显示的供给压力成为
0.49MPa
。（当压力变得过高时，请先将压力降到
0.49MPa
以下，再把压力朝增高方向调整。）
3. 压力显示变为 0.49 MPa (5 kgf/cm
2
) 后，锁住调压手柄。
注意
请用户自行准备连接到主机的 φ12 mm 空气导管和空气源的供给切断装置。