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安装要领书 23 第 5 章 基板传送高度和水平调整 5-1 水平调整 1. 使用六角扳手卸下本机后部的护罩，在设置水平仪用的空间之 X 方向和 Y 方向各放 1 个水平仪。 (a) 水平仪 基板传送高度度 900 - 20/+45m m 950 - 20/+45m m (950mm 规格 ) 基板传送面： 本机正面侧的输送带上面 a
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＜真空泵旋转方向相反时进行的作业＞
如旋转方向相反，是因为向装置供电的厂方的
3
相电源之相位順序并不是
UVW
。
要做的就是把装置断流器所连接的来自厂方的供电电缆
L2
与
L3
进行调换。
操作前，请一定要万用表等对配电盘的断流器
OFF
等进行确认，保证要进行调换的电源回路的电源
已被切断。
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第5章 基板传送高度和水平调整
5-1 水平调整
1. 使用六角扳手卸下本机后部的护罩，在设置水平仪用的空间之 X 方向和 Y 方向各放 1 个水平仪。
(a) 水平仪
基板传送高度度
900 -20/+45mm
950 -20/+45mm (950mm 规格)
基板传送面：
本机正面侧的输送带上面
a
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2. 为了对准本机前工序和后工序的基板搬送高度，要用扳手旋转底部脚（4 个）的六角螺母来调整基板
搬送高度。
向右旋转为上升，向左旋转为下降。
注意
脚高度调整用六角螺母的 2 面宽度为 64 mm。
(a) 锁定用螺母
(b) 脚的六角螺母
(c) 脚
3. 使用扳手旋转各脚的六角螺母进行微调，以确保 X 轴和 Y 轴的水平仪显示的水平度在 0.05 mm 以下
（1 刻度为 0.02 mm 的水平仪为 2 刻度以下，1 刻度为 0.05 mm 的水平仪为 1 刻度以下）。
4. 安装本机的护罩。
请按下图的顺序安装护罩。
①
②
下降
上升