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安装要领书 22 ＜真空泵旋转方向相反时进行的作业＞ 如旋转方向相反，是因为向装置供电的厂方的 3 相电源之相位順序并不是 UVW 。 要做的就是把装置断流器所连接的来自厂方的供电电缆 L2 与 L3 进行调换。 操作前，请一定要万用表等对配电盘的断流器 OFF 等进行确认，保证要进行调换的电源回路的电源 已被切断。
安装要领书
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4-4-2 真空泵的压力确认
本机内置有真空泵，用于吸取元件。使该真空泵运行。
1. 接通本机背面的主断路器。
2. 将本机正面的主开关置于 ON。
3.
显示贴片头的操作画面。
关于操作方法的详情，请参阅「使用说明书
4-9-2.
贴片头控制」。
显示贴片头操作画面后，真空泵将自动打开。
真空泵将旋转，以下述方法确认真空压力显示在
-70.0 kPa
以下。
本机操作画面的
VACUUM
压力显示
Tips
关闭贴片头操作画面后，真空泵将自动关闭。
有关贴片头操作画面的详情，请参阅「使用说明书 4-9-2. 贴片头控制」的「贴片头气体的切换
操作」。
请确认真空泵的旋转方向。
请在真空泵旋转的状态下，将纸片靠近下图所示的真空泵排气口，确认有排气使纸片从排气口吹离。
当旋转方向相反时，气流将相反，从排气口吸气，纸片被吸引到排气口。
※ 如果是从排气口吸气（纸片被吸近到排气口时），说明真空泵的旋转方向是反的。因有可能引起
故障，请实施下面的＜真空泵旋转方向相反时进行的作业＞。
※ 实施作业后，请一定要再次确认真空泵的旋转方向。
排气口
吸气口
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＜真空泵旋转方向相反时进行的作业＞
如旋转方向相反，是因为向装置供电的厂方的
3
相电源之相位順序并不是
UVW
。
要做的就是把装置断流器所连接的来自厂方的供电电缆
L2
与
L3
进行调换。
操作前，请一定要万用表等对配电盘的断流器
OFF
等进行确认，保证要进行调换的电源回路的电源
已被切断。
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第5章 基板传送高度和水平调整
5-1 水平调整
1. 使用六角扳手卸下本机后部的护罩，在设置水平仪用的空间之 X 方向和 Y 方向各放 1 个水平仪。
(a) 水平仪
基板传送高度度
900 -20/+45mm
950 -20/+45mm (950mm 规格)
基板传送面：
本机正面侧的输送带上面
a