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ESD Association Standar d ANSI/ESD S20.20 - 2021 1 用于 规划对电气 和电 子部件 、组 件和设备（不包括电气引 爆 装 置） 实施静电防护的 ESD 管控 体系 的 ESD 协会标 准 1.0 总 则 本标 准的 目 的是明 确 规划 、 实 施和维护 ESD 管控 体 系的行 政 管 理 和 技 术 上的要求。 2.0 适用范 围 本标 准适用的 领 域 包括，制 造 / 生产 、加…

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ANSI/ESD S20.20-2021
v
附录
附录 A （资料性）: 其它制程方面的考虑 ....................................................................................... 10
附录 B （资料性）: ESD 敏感度测试 ............................................................................................. 11
附录 C （资料性）: 适用性调整 ..................................................................................................... 13
附录 D （资料性）: 参考文献 ........................................................................................................ 15
附录 E （资料性）: 方向声明 ......................................................................................................... 17
附录 F （资料性）: ANSI/ESD S20.20 的修订历史 ....................................................................... 18
附表
表 1. 接地 / 等电位连接系统之技术要求 ........................................................................................... 4
表 2. 人员接地系统之技术要求 ........................................................................................................ 5
表 3. EPA 内的防静电物品之技术要求 ............................................................................................. 7
表 4. 防静电包装要求 ....................................................................................................................... 9
表 5. 器件的 ESD 敏感度测试规范 ................................................................................................. 12
ESD Association Standard ANSI/ESD S20.20-2021
1
用于规划对电气和电子部件、组件和设备（不包括电气引爆装置）实施静电防护的
ESD
管控体系
的
ESD
协会标准
1.0
总则
本标准的目的是明确规划、实施和维护 ESD 管控体系的行政管理和技术上的要求。
2.0
适用范围
本标准适用的领域包括，制造/生产、加工、组装、安装、包装、标记、检修、测试、检查、运输
或处置， HBM 敏感度大于或等于 100V 和 CDM 敏感度大于或等于 200V 的电气或电子部件、组件
和设备。此外，为了避免孤立导体可能导致 ESDS 物品（静电敏感物品）的损伤的风险，相关孤立
导体的静电电势必须控制在 35V 以下。
当涉及敏感度等级要求更加严格的装置时，需考虑额外防护措施或提高管控标准。更加严格执行的
技术要求仍该视为符合本标准要求。本标准不适用于电气引爆装置、易燃液体或粉末。
注：本标准对制程中必用的绝缘资材的管控水平是基于多年累计的 CDM 管控经验，如何有效降低
该绝缘资材产生的感应电场的破坏风险。
3.0
引用规范名录
除另有注明外，下列规范的最新发布版本、修订版本或修订部分将构成本标准的一部分：
ESD ADV1.0, ESD Association’s Glossary of Terms
(
2
)
- ESD 协会专用术语
ANSI/ESD S1.1, Wrist Straps
(2)
- 防静电腕带
ANSI/ESD STM2.1, Garments - Resistive Characterization
(2)
- 防静电服 - 电阻测量
ANSI/ESD STM3.1, Ionization
(2)
- 离子化静电消除器
ANSI/ESD SP3.3, Periodic Verification of Air Ionizers
(2)
- 离子化静电消除器之定期检测
ANSI/ESD STM4.1, Worksurfaces - Resistance Measurements
(2)
- 防静电工作表面之电阻测量
ANSI/ESD S6.1, Grounding
(2)
- 接地系统
ANSI/ESD STM7.1, Flooring Systems - Resistive Characterization
(2)
- 防静电地面之电阻测量
ANSI/ESD S8.1, Symbols - ESD Awareness
(2)
- 常用标志 - 静电防护领域
ANSI/ESD STM9.1, Footwear - Resistive Characterization
(2)
- 防静电鞋具之电阻测量
ANSI/ESD SP9.2, Foot Grounders - Resistive Characterization
(2)
- 鞋束接地装置之电阻测量
ANSI/ESD STM11.11, Surface Resistance Measurement of Static Dissipative Planar Materials
(2)
-
平坦型静电耗散材料的表面电阻测量
ANSI/ESD STM11.12, Volume Resistance Measurement of Static Dissipative Planar Materials
(2)
-
平坦型静电耗散材料的体积电阻测量
ANSI/ESD STM11.13, Two-Point Resistance Measurement
(2)
两点间电阻测量
ANSI/ESD STM11.31, Bags
(2)
- 防静电包装袋
ANSI/ESD STM12.1, Seating – Resistance Measurements
(2)
- 防静电座椅之电阻测量
ANSI/ESD S13.1, Electrical Soldering/Desoldering Hand Tools
(2)
- 电焊/电拆焊工具
2
EOS/ESD 协会地址：218 West Court Street, Rome, NY 13440, 电话 315-339-6937; www.esda.org
ANSI/ESD S20.20-2021
2
ESD TR53, Compliance Verification of ESD Protective Equipment and Materials
(2)
-
防静电物品和材料的符合性验证
ANSI/ESD STM97.1, Footwear/Flooring System - Resistance Measurement in Combination with a
Person
(2)
- 防静电鞋具-地面-人员组合系统的电阻测量
ANSI/ESD STM97.2, Footwear/Flooring System - Voltage Measurement in Combination with a
Person
(2)
防静电鞋具-地面-人员组合系统的电压测量
ANSI/ESD S541, Packaging Materials
(2)
- 防静电包装
MIL-STD-2073-1, Dept of Defense Standard Practice for Military Packaging
(
3
)
- 美国国防部军用包
装标准
4.0
术语和定
义
本文件中所使用的术语及定义的参考标准为 ESD ADV1.0 ESD Association's Glossary of Terms。
该 ESD ADV1.0 文件可从 www.esda.org 免费下载。另，本标准某些术语的应用定义如下：
conductor
导
体。点对点电阻小于 1.0 x 10
4
Ω 的材料。
ESD control items
防静电物品
。静电防护区内所有用于静电防护的物品，材料，工具和设备。
insulator
绝缘体
。按照 ANSI/ESD STM11.11, ANSI/ESD STM11.12, 或 ANSI/ESD STM11.13, 测
量电阻大于或等于 1.0 x 10
11
Ω 的材料。
isolated conductor
孤立导体
。接触点（与 ESDS 物品接触的位置）对地电阻大于或等于 1.0 x 10
9
Ω 的导体。
unprotected ESDS item
无保护的
ESDS
物品
。未放置在防静电包装材料内，或裸露的静电敏感
物品。
worksurface
工作表面
。各类用于处置无保护的 ESDS 物品的工作表面。
5.0
人员安全
本标准阐述的某些操作步骤和设备使用可能导致操作人员暴露于有害电气条件中。本标准的用户必
须负责选择使用所有相关法律、法规和内外政策所规定的防护程序和措施。特别提醒用户：本标准
不能替代或跨越任何操作人员必须采取的安全防护措施。
所有涉及有源电源的操作应采用接地故障断路器
(GFCI )
和其它安全保护措施。
提醒用户实施防范电气危害的操作
,
并遵循正确的设备接地要求。
通过实施本标准得到的电阻测试值
,
不能作为评估高电流、高电压操作风险的依据。
6.0 ESD
管控体系
6.1 ESD
管控体系要求
ESD 管控体系应包涵本标准所规定的行政管理和技术要求。体系文件必须明确注明所制定的 ESD
管控体系可提供防护的最低的各 ESD 敏感度等级。采用本标准的组织应制定、记录归档、实施、
维护并定期验证其 ESD 管控体系与本标准的符合性。
6.2 ESD
管控体系总负责
采用本标准的组织必须委派一位负责人负责跟进所制定 ESD 管控体系与本标准实施情况的符合性。
3
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