2.ANSI-ESD S20.20-2021中2.pdf - 第17页

ANSI/ESD S20.20 - 2021 6 • 当无保护的 ESDS 物品与必用绝缘体的距离大于 25 mm 但小于 300 mm 时，用非接触式电压表测量该绝缘体表面的电压，必须小于 2000 V 。如果使用的是场强测试仪，则在该仪表规定的测量距离测出的读数必须小于 2000 V 。注 : 测量绝缘体时应反映 EPA 内…

ANSI/ESD S20.20-2021

如操作人员是坐着作业的，他们必须通过防静电腕带与接地/等电位连接系统实现连接。

如操作人员是站立作业的，他们必须通过防静电腕带或防静电鞋具-地面系统与接地/等电位连接系

统实现连接。这些连接都必须符合表 2 的技术要求。

如果人员接地是通过防静电服来实现的，则须在 ESD 管控体系手册中注明，且必须同时符合表 2

中对接地防静电服系统的电阻值要求和表 3 中对接地防静电服的要求。

表

：人员接地系统之技术要求

项目

物品导入

符合性验证

测试规范

技术指标

测试规范

技术指标

防静电腕带系统

ANSI/ESD S1.1

系统电阻

<3.5 x 10

Ω

ESD TR53

防静电腕带章节

系统电阻

<3.5 x 10

Ω

接地防静电服系统

ANSI/ESD STM2.1

系统电阻

<3.5 x 10

Ω

ESD TR53

防静电服章节

系统电阻

<3.5 x 10

Ω

防静电鞋具-

地面系统 –

(两个指标都必须满

足）

(6)

ANSI/ESD

STM97.1

系统电阻

<1.0 x 10

Ω

ESD TR53

防静电鞋具章节

系统电阻

<1.0 x 10

Ω

(7)

ANSI/ESD

STM97.2

峰值 <100V

ESD TR53

防静电地面章节

对地电阻

<1.0 x 10

Ω

(7)

8.3

静电防护区

(EPA)

所有涉及未使用防静电包装的 ESDS 物品、部件、组件和设备的操作都必须在明显区域划分的EPA

内执行。

EPA 可由一个单独的工作台、整个房间、整栋建筑或其它规划的区域构成。

只有完成了 ESD 管控体系规定培训的人员，才能进入 EPA 作业。未完成培训的个人进入 EPA 时

必须有完成培训的人员陪同。

只要有操作 ESDS 物品的地方，就必须建立 EPA。在 EPA 内，可采取多种静电防护措施。表 3 列

出了一些相关可选用防静电物品。如执行单位决定选用某防静电物品，则必须严格按照其在表 3 中

规定的技术指标和测量规范管控。

8.3.1

绝缘体

组织的 ESD 管控体系应包括绝缘体管制方案，以减轻绝缘体静电场强感应可能造成的 CDM 损坏的

影响。所有非必用绝缘体必须与 ESDS 物品保持至少 300mm 的距离。当进行工艺风险评估时，对

于必用绝缘体的评估，必须以其实际的使用状况进行。EPA 内允许设立指定区域来存储易产生静电

的物品，但该区域的设立也必须还能保证可以符合以下的要求。

在作首次工艺确认或后续的符合性验证测量工作时，必须确保能满足下列要求之一：

• 在处理 ESDS 物品的位置，所测量的静电场，其静电场强度必须小于 5000V/m（125V/英寸）

• 当无保护 ESDS 物品与必用绝缘体的距离小于或等于 25mm 时，用非接触式电压表测量该绝

缘体表面的电压，必须小于 125V。如果使用的是场强测试仪，则在该仪表规定的测量距离测

出的读数必须小于 125V。

应定期进行人体电压测试，以验证该电压是否仍小于 100V。

技术指标 <1.0 x 10

Ω 是允许的管控上限，组织应记录并采用物品导入工作所测量的系统电压能满足小于

100V 时的最大系统电阻值，作为实际符合性验证计划的管控技术指标。

ANSI/ESD S20.20-2021

• 当无保护的 ESDS 物品与必用绝缘体的距离大于 25mm 但小于 300mm 时，用非接触式电压表

测量该绝缘体表面的电压，必须小于 2000V。如果使用的是场强测试仪，则在该仪表规定的测

量距离测出的读数必须小于 2000V。

注: 测量绝缘体时应反映 EPA 内实际应用场景，该绝缘体不应人为摩擦产生静电。如需更多说明，可参阅

ESD TR20.20

注：如需有关绝缘体管控技术的更多说明，可参阅 ESD TR20.20。

注：静电场的准确测量要求测量人员熟悉设备的工作原理。场强测试仪对来自带电表面的静电场作出响应，在

该仪表规定的测量距离的场强转换成静电压。当测量体形相对大的导体时，在仪表规定的测量距离下测到的读

数将是导体上的实际电压。而对于非均匀带电的绝缘体，场强测试仪所显示的电压(按仪表规定的测量距离测

量时)则是该绝缘体测试部位的静电场强的平均值。

注：如果使用的是非接触式电压表，则必须保证该表可分辨的最小测量区域（点测试分辨率）将是小于被测的

绝缘体。这分辨率是仪表探头孔径大小和到被测物体的距离的组合，因此建议以仪表制造商规定的最小距离测

量物品。

8.3.2

孤立导体

如果一个与 ESDS 物品接触的导体不能有效接地或形成等电位连接时，则必须确保该孤立导体与地

之间的电位差在 -35V 到 +35V 之间。对于不与 ESDS 物品接触的导体，必须满足第 8.3.1 节中对绝

缘体的要求。

注：建议使用高阻抗接触电压表以取得较准确的读数。如果使用的是非接触式电压表或场强测试仪，则必须保

证该表可分辨的最小测量区域（点测试分辨率）将是小于被测的孤立导体。对于非接触式电压表而言，这分辨

率

是仪表探头孔径大小和到被测物体的距离的组合，因此建议以仪表制造商规定的最小距离测量物品。

ANSI/ESD S20.20-2021

表

3. EPA

内的防静电物品之技术要求

项目

防静电物品

物品导入

符合性验证

测试规范

技术指标

(8)

测试规范

技术指标

EPA

工作表面

(9)

ANSI/ESD

STM 4.1

点对点电阻

<1.0x10

Ω

点对接地点电阻

<1.0x10

Ω

ESD TR53

工作表面章节

对地电阻

<1.0x10

Ω

防静电腕带线

ANSI/ESD S1.1

0.8 x 10

至

1.2 x 10

Ω

防静电腕带系统的符合性验证见表

防静电腕带的

腕带部分

ANSI/ESD S1.1

内侧电阻

<1.0 x 10

Ω

外侧电阻

>1.0 x 10

Ω

防静电腕带接

地端子（非实

时监测型）

ANSI/ESD S6.1

对地电阻

(10)

<2 Ω

ESD TR53

接地/等电位连

接系统章节

对地电阻

(10)

<2 Ω

实时监测系统

用户定义

ESD TR53

实时监测系统

部分

制造商定义

防静电鞋

ANSI/ESD

STM 9.1

点对接地点电阻

<1.0 x 10

Ω

防静电鞋具-

地面系统的符合性验证见表 2

鞋束接地装置

ANSI/ESD

SP 9.2

点对接地点电阻

<1.0 x 10

Ω

防静电地面

ANSI/ESD

STM 7.1

点对点电阻

<1.0 x 10

Ω

点对接地点电阻

<1.0 x 10

Ω

防静电座椅

ANSI/ESD

STM 12.1

点对接地点电阻

<1.0 x 10

Ω

ESD TR53

防静电座椅章

节

对地电阻

<1.0 x 10

Ω

表 3 续下页

对于有多种电阻测试方法的标准，这些技术指标适用于所有方法。

由于工作表面的应用范围很广，很难确定可以广泛应用的特定需求。如果存在 CDM 失效的问题，则应考虑点对点和点对

接地点电阻下限设为 1.0 x 10

Ω。

如果线路中有电阻器，则必须将上限调整为小于 5.0 x 10

Ω。