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ANSI/ESD S20.20 - 2021 7 表 3. EPA 内 的防静电 物品之 技 术 要求 项 目 防静电物品 物品导 入 符 合性 验证 测试规范 技术指 标 (8) 测试规范 技术指 标 EPA 工 作 表面 (9) ANSI/ESD STM 4.1 点 对 点 电 阻 <1.0x10 9 Ω 点 对接地 点 电 阻 <1.0x10 9 Ω ESD TR53 工 作 表面 章 节 对地电 阻 <1.0x…
ANSI/ESD S20.20-2021
6
• 当无保护的 ESDS 物品与必用绝缘体的距离大于 25mm 但小于 300mm 时，用非接触式电压表
测量该绝缘体表面的电压，必须小于 2000V。如果使用的是场强测试仪，则在该仪表规定的测
量距离测出的读数必须小于 2000V。
注: 测量绝缘体时应反映 EPA 内实际应用场景，该绝缘体不应人为 摩擦产生静电。如需更多说明，可参阅
ESD TR20.20
o
注：如需有关绝缘体管控技术的更多说明，可参阅 ESD TR20.20。
注：静电场的准确测量要求测量人员熟悉设备的工作原理。场强测试仪对来自带电表面的静电场作出响应，在
该仪表规定的测量距离的场强转换成静电压。当测量体形相对大的导体时，在仪表规定的测量距离下测到的读
数将是导体上的实际电压。而对于非均匀带电的绝缘体，场强测试仪所显示的电压(按仪表规定的测量距离测
量时)则是该绝缘体测试部位的静电场强的平均值。
注：如果使用的是非接触式电压表，则必须保证该表可分辨的最小测量区域（点测试分辨率）将是小于被测的
绝缘体。这分辨率是仪表探头孔径大小和到被测物体的距离的组合，因此建议以仪表制造商规定的最小距离测
量物品。
8.3.2
孤立导体
如果一个与 ESDS 物品接触的导体不能有效接地或形成等电位连接时，则必须确保该孤立导体与地
之间的电位差在 -35V 到 +35V 之间。对于不与 ESDS 物品接触的导体，必须满足第 8.3.1 节中对绝
缘体的要求。
注：建议使用高阻抗接触电压表以取得较准确的读数。如果使用的是非接触式电压表或场强测试仪，则必须保
证该表可分辨的最小测量区域（点测试分辨率）将是小于被测的孤立导体。对于非接触式电压表而言，这分辨
率
是仪表探头孔径大小和到被测物体的距离的组合，因此建议以仪表制造商规定的最小距离测量物品。
ANSI/ESD S20.20-2021
7
表
3. EPA
内的防静电物品之技术要求
项目
防静电物品
物品导入
符合性验证
测试规范
技术指标
(8)
测试规范
技术指标
EPA
工作表面
(9)
ANSI/ESD
STM 4.1
点对点电阻
<1.0x10
9
Ω
点对接地点电阻
<1.0x10
9
Ω
ESD TR53
工作表面章节
对地电阻
<1.0x10
9
Ω
防静电腕带线
ANSI/ESD S1.1
0.8 x 10
6
至
1.2 x 10
6
Ω
防静电腕带系统的符合性验证见表
2
防静电腕带的
腕带部分
ANSI/ESD S1.1
内侧电阻
<1.0 x 10
5
Ω
外侧电阻
>1.0 x 10
7
Ω
防静电腕带接
地端子（非实
时监测型）
ANSI/ESD S6.1
对地电阻
(10)
<2 Ω
ESD TR53
接地/等电位连
接系统章节
对地电阻
(10)
<2 Ω
实时监测系统
用户定义
用户定义
ESD TR53
实时监测系统
部分
制造商定义
防静电鞋
ANSI/ESD
STM 9.1
点对接地点电阻
<1.0 x 10
9
Ω
防静电鞋具-
地面系统的符合性验证见表 2
鞋束接地装置
ANSI/ESD
SP 9.2
点对接地点电阻
<1.0 x 10
9
Ω
防静电地面
ANSI/ESD
STM 7.1
点对点电阻
<1.0 x 10
9
Ω
点对接地点电阻
<1.0 x 10
9
Ω
防静电座椅
ANSI/ESD
STM 12.1
点对接地点电阻
<1.0 x 10
9
Ω
ESD TR53
防静电座椅章
节
对地电阻
<1.0 x 10
9
Ω
表 3 续下页
8
对于有多种电阻测试方法的标准，这些技术指标适用于所有方法。
9
由于工作表面的应用范围很广，很难确定可以广泛应用的特定需求。如果存在 CDM 失效的问题，则应考虑点对点和点对
接地点电阻下限设为 1.0 x 10
6
Ω。
10
如果线路中有电阻器，则必须将上限调整为小于 5.0 x 10
6
Ω。
ANSI/ESD S20.20-2021
8
项目
防静电物品
物品导入
符合性验证
测试规范
技术指标
(8)
测试规范
技术指标
EPA
离子化静电消除器
ANSI/ESD STM
3.1
衰减时间：
用户定义
ESD TR53
(11)
离子化静电消除
器章节
衰减时间：用户定义
-35V＜
平衡电压（峰值）
＜35V
-35V＜
平衡电压（峰值）
＜35V
货架
(9)
(用于存放无
保护的 ESDS 物品)
ANSI/ESD
STM4.1
点对点电阻
＜1.0x10
9
W
ESD TR53
工作表面章节
对地电阻
＜1.0x10
9
W
点对接地点电阻
＜1.0x10
9
W
移动设备
⑼
（工作表面）
ANSI/ESD
STM4.1
点对点电阻
＜1.0x10
9
W
ESD TR53
工作表面章节
对地电阻
＜1.0x10
9
W
点对接地点电阻
＜1.0x10
9
W
电焊/电拆焊工具
ANSI/ESD S13.1
端头对地或接地点
电阻 ＜2 W
ESD TR53
电焊/电拆焊工具
章节
端头对地或接地点电
阻 ＜10 W
端头电压＜20mV
端头漏电流＜10mA
防静电服
ANSI/ESD
STM2.1
点对点电阻
＜1.0x10
11
W
ESD TR53
防静电服章节
点对点电阻
＜1.0x10
11
W
接地防静电服
ANSI/ESD
STM2.1
点对点和点对接地
点电阻
＜1.0x10
9
W
ESD TR53
接地防静电服章
节
点对接地点电阻
＜1.0x10
9
W
11
有关离子化静电消除器的定期检测的更多信息，参阅 ANSI/ESD SP3.3。