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ANSI/ESD S20.20 - 2021 14 表 3 ，物品导 入 和 符 合性 验证 规 定 的 离 子 化 静电 消除 器的 平 衡 电 压 ( 峰 值 ): - 35V< 平 衡 电 压 <35V 。 偏 离 要求的 技 术 理 由 : 在前 端 制 造 工 艺 中， 晶 圆 的 静电敏感 度明 显 低 于 切割 后 的管 芯 。 本 ESD 管控 体系 所 涵盖 的 EPA 区域内 使 用的是 安 装在 天 花…

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ANSI/ESD S20.20-2021
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（本附录不属于 ESD 协会 ANSI/ESD S20.20-2021 标准的一部分）
附录
C
（资料性）
-
适用性调整
适用性调整的目的是为 ANSI/ESD S20.20 的用户根据情况提供灵活性，允许偏离或排除标准的某
些要求，前提是用户能够提供偏离或排除这些要求的理由和技术依据。适用性调整声明必须记录在
案，通常会选择添加到组织的 ESD 管控体系手册中，且必须包括被排除或修改的 ANSI/ESD
S20.20 的要求的相关理由和技术依据的记录。
经发现，多数想采用该适用性调整规定的组织和试图审核该规定是否符合要求的单位存在一定程度
的误解。误解通常源于对本标准要求的理解不够，未对是否属于本标准要求做出正确判断。在以下
提供的示例中，对 ANSI/ESD S20.20 中涉及 shall 和 mandatory 用词的要求提出需要特别关注。
由组织提出的适用性调整声明，必须指明所涉及的制造环节和有关调整如何偏离 ANSI/ESD
S20.20 的要求(见章节 6.3)，需包括受影响的标准中的具体哪个要求，以及排除或偏离要求的技术
理由。
可接受的适用性调整声明的例子和相关技术理由
示例
1
适用性调整声明
:
本 ESD 管控体系不含人员接地要求。
ANSI/ESD S20.20
受影响的要求
:
第 8.2 节，第一句话:“ 所有接触 ESDS 物品的人员都要与接地或等电位连接系统实现电气连接。”
排除要求的技术理由
:
该组织采用完全自动化的制造过程，没有人为的交互或处置 ESDS 物品。
示例
2
适用性调整声明
:
洁净室 EPA 区域内使用的工作表面对地电阻的上限设为小于 1.0x10
10
Ω，取代标准所规定的物品
导入和符合性验证的 <1.0x10
9
Ω 限值。
ANSI/ESD S20.20
受影响的要求
:
表 3，物品导入测试参考的 ANSI/ESD STM4.1 和符合验证测试参考的 ESD TR53 “点对接地点” 和
“对地电阻”的最大电阻限值为 1.0x10
9
Ω。同时，按第 7.3 节(物品导入)和 7.4 节(符合性验证)要求，
必须满足表 2、3、4 所规定的测试技术指标。
偏离要求的技术理由
:
组织对处置 ESDS 物品的多个洁净室有洁净度要求。满足洁净室洁净度要求的工作表面材料的对地
电阻大于 1.0x10
9
Ω，但小于 1.0x10
10
Ω。通过确保这些工作表面和人员都正确接地，组织认为所有
的 ESDS 物品和人员都处于相同的电势。在洁净室内使用这些工作表面的制造过程是受控的，并且
从最初安装以来，最终产品的良率一直是可接受的。
示例
3
适用性调整声明
:
本 EPA 使用安装在天花板上的室内直流脉冲型离子化静电消除系统平衡电压(峰值)为 -250V<
平衡电压 <250V。
ANSI/ESD S20.20
受影响的要求
:
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表 3，物品导入和符合性验证规定的离子化静电消除器的平衡电压(峰值): -35V< 平衡电压 <35V。
偏离要求的技术理由
:
在前端制造工艺中，晶圆的静电敏感度明显低于切割后的管芯。
本 ESD 管控体系所涵盖的 EPA 区域内使用的是安装在天花板上的室内离子化静电消除系统。这个
离子化静电消除系统的主要目的是为了控制微污染。它将被用于降低任何晶圆制造环节中通常存在
的许多工艺必用绝缘体上的电荷。广泛覆盖(相对于使用点)的离子化静电消除系统在任何晶圆制造
过程中都是至关重要的，它可以减少许多工艺必用绝缘体上的电场。在个别特殊的应用场合，当工
程部或 ESD 管控体系总负责认为有必要设定更严格要求时，平衡电压的最大峰值可设定为 ±35V。
不可接受的或不必要的适用性调整声明的例子和相关技术理由
示例
1
适用性调整声明
:
组织决定不使用防静电座椅因为 EPA 区内作业是要求必须佩戴防静电腕带的。
ANSI/ESD S20.20
受影响的要求
:
第 8.2 节(人员接地系统)，第二段:“ 如操作人员是坐着作业的，他们必须通过防静电腕带与接地/等
电位连接系统实现连接。”
为什么这种适用性调整的声明是不必要的
?
标准没有要求必须使用防静电座椅。防静电座椅只是标准表 3 中列出 EPA 的多个“可选”防静电物品
之一。标准的实际要求是只要是坐着作业的人员就需要佩戴接地的防静电腕带，没有其它要求，与
是否使用防静电座椅无关。
示例
2
适用性调整声明
: 非必用绝缘体不允许在组织的 EPA 指定区域内。
ANSI/ESD S20.20
受影响的要求
:
第 8.3.1 节(绝缘体)，第一段，第二句:“ 所有非必用绝缘体必须与 ESDS 物品至少相隔 300mm”。
为什么这种适用性调整的声明是不必要的
?
通过制定不允许非必用绝缘体进入 EPA，已符合 ANSI/ESD ESD S20.20 中规定的确保所有非必用
绝缘体与 ESDS 物品至少相隔 300mm 的要求。因此，没有该声明的必要。
示例
3
适用性调整声明
:
在 EPA 内使用的工作表面的对地电阻的下限设为大于 1.0 x 10
5
Ω 而不是规范中的 0 Ω。
ANSI/ESD S20.20
受影响的要求
:
表 3，分别使用 ANSI/ESD STM4.1 进行物品导入测试和 ESD TR53 进行符合性验证测试的“点对
接地点”和“对地电阻”最小电阻值技术指标为 0 Ω。同时在 7.3 节(防静电物品导入计划)和 7.4 节
(防静电物品符合性验证计划)中，必须满足表 3 所要求的测试技术指标。
为什么这种适用性调整的声明是不必要的
?
组织采用的下限是处于规定的技术指标范围内。既然是在标准规定的技术指标范围内，就不需要作
适用性调整。这个特定下限值可作为这个站点的要求。!
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（本附录不属于 ESD 协会 ANSI/ESD S20.20-2021 标准的一部分）
附录
D
（资料性）
-
参考文献
以下列出的文件供参考。一些文件可能已被取消。不过，本清单提供了在编制本标准期间所参考的
文件。
美国军用标准
MIL-STD-3010, Federal Test Method Standard 包装材料测试方法
MIL-PRF-81705, Barrier Materials, Flexible, Electrostatic Discharge Protective, Heat Sealable
阻隔材料，柔韧性，静电放电保护，可热封
MIL-PRF-38534, Performance Specification: Hybrid Microcircuits, General Specification 性能规范 :
混合微电路, 通用规范
MIL-PRF-38535, Performance Specification: Integrated Circuits (Microcircuits) Manufacturing,
General Specification 性能规范 : 集成电路(微电路)制造，通用规范
MIL-STD-883-3 Method 3015, Test method standard for
microcircuits 方法 3015，微电路的测试方法
MIL-STD-750-1 Method 1020, Test methods for semiconductor devices
方法 1020，半导体器件的测试方法
MIL-PRF-19500, Semiconductor Devices, General Specification 半导体器件，通用规范
MIL-STD-1686, Electrostatic Discharge Control Program for Protection of Electrical and
Electronic Parts, Assemblies and Equipment (Excluding Electrically Initiated Explosive Devices) -
This standard has been cancelled 用于保护电气和电子部件、组件和设备 (不包括电气引爆装置)
的静电放电管控体系 -
该标准已被取消
MIL-HDBK-263, Electrostatic Discharge Control Handbook for Protection of Electrical and
Electronic Parts, Assemblies, and Equipment (Excluding Electrically-Initiated Explosive Devices) -
This handbook has been cancelled 用于保护电气和电子部件、组件和设备 (不包括电气引爆装置)
的静电放电管控手册-
该手册已被取消
MIL-M-38510, General Specification for Military Microcircuits 军用微电路通用规范 –
该标准已处于闲置状态
MIL-DTL-82646, Plastic Film, Conductive, Heat Sealable, Flexible
塑料薄膜，导电型，可热封，柔韧性
MIL-PRF-87893, Workstations, Electrostatic Discharge (ESD) Control
工作站，静电放电(ESD)管控
MIL-STD-129, Marking for Shipment and Storage 装运和储存标识
MIL-STD-1285, Marking of Electrical and Electronic Parts 电气和电子部件的标识
KSC-MMA-1985-79, Standard Test Method for Evaluating Triboelectric Charge Generation and
Decay 评估摩擦静电产生和衰减的标准测试方法
MIL-HDBK-103, List of Standard Microcircuit Drawings 标准微电路图纸清单
Supplemental Information Sheet for Electronic QML-19500 电子部件补充信息
行业标准
ANSI/IEEE-STD-142, IEEE Green Book (IEEE Recommended Practice for Grounding of
Industrial and Commercial Power Systems) IEEE 绿皮书(IEEE 工业和商业电力系统的接地规范)