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ANSI/ESD S20.20 - 2021 5 如操作人员是坐着作业的，他们必须通过防静电腕带与接地 / 等电位连接系统实现连接。如操作人员是站立作业的，他们必须通过防静电腕带或防静电鞋具 - 地面系统与接地 / 等电位连接系统实现连接。这些连接都必须符合表 2 的技术要求。如果人员接地是通过防静电 …

ANSI/ESD S20.20-2021

当组织选择鞋具-地面系统作为人员接地方法时，符合性验证记录将不适用于进行本标准规定的防

静电物品导入工作。该导入工作必须按照表 2 中规定的平衡环境条件测试，或如上述描述情况，以

组织厂房设施的最低相对湿度条件进行。如使用超过一种鞋具-地面组合，则各组合都需单独完成

导入工作。

7.4

防静电物品符合性验证计划

为了确保使用的防静电物品符合本标准表 2、3 和 4 的相关要求（包括测试方法和技术指标），组

织须建立符合性验证计划。该计划须明确需要定期测试的防静电物品及相应的测试频率。

符合性验证计划须记录相关的测量设备和测试方法。如果组织使用的测试方法或技术指标偏离本标

准中表 2、3 和 4 所规定的要求，则必须在 ESD 管控体系手册中对适用性调整进行说明，并提供相

关的技术理论依据。

符合性验证的相关记录是防静电物品符合本标准技术要求的证据，必须妥善保存并规定记录的保存

地点位置。

组织必须依据测试的技术条件选用合适的测试设备。

注：测试设备的校准证书并不等于该设备具备有关的测试能力。

8.0 ESD

管控体系之技术要求

这部分（第 8 条）对建立 ESD 管控体系时需要考虑到的技术要求提出规定。每个选用的防静电物

品或与静电敏感物品有接触的防静电物品都必须满足本标准指定的测试方法和技术指标。

这些技术指标必须是根据表中规定的测试方法或标准执行。符合性验证计划须注明用于确认符合技

术指标的测试方法。

8.1

接地

等电位连接系统

为了确保静电敏感物品、人员和任何其它可能接触到静电敏感物品的导体(如推车)处于等电势水平，

这些物品必须进行接地或等电位连接。执行接地/等电位连接方式应从表 1 中任选其一。

接地系统不需要执行符合性验证，新建厂房时有进行相

关测试即可；如果用户安装了接地故障断路

器(GFCI)，这种测量是不需要的。

注：在进行电气系统维护或升级后，应考虑对接地系统进行验证测试。

表

接地

等电位连接系统之技术要求

项目

实施方案

测试规范

技术指标

接地/等电位连接系统

电气装置的保护接地

ANSI/ESD S6.1

阻抗 <1 Ω

（

）

单独设置的防静电接地

ANSI/ESD S6.1

与电气保护导体（接地

线）间电阻 <25 Ω

等电位连接系统

ANSI/ESD S6.1

<1.0 x 10

Ω

（

）

8.2

人员接地系统

所有接触 ESDS 物品的人员都要与接地或等电位连接系统实现电气连接。人员接地的方式可从表 2

中任选一项。

如果系统配置 GFCI，则不需要进行此测试。该测试可能启动 GFCI 保护功能。

任一防静电物品与公共连接点之间的最大电阻值。

ANSI/ESD S20.20-2021

如操作人员是坐着作业的，他们必须通过防静电腕带与接地/等电位连接系统实现连接。

如操作人员是站立作业的，他们必须通过防静电腕带或防静电鞋具-地面系统与接地/等电位连接系

统实现连接。这些连接都必须符合表 2 的技术要求。

如果人员接地是通过防静电服来实现的，则须在 ESD 管控体系手册中注明，且必须同时符合表 2

中对接地防静电服系统的电阻值要求和表 3 中对接地防静电服的要求。

表

：人员接地系统之技术要求

项目

物品导入

符合性验证

测试规范

技术指标

测试规范

技术指标

防静电腕带系统

ANSI/ESD S1.1

系统电阻

<3.5 x 10

Ω

ESD TR53

防静电腕带章节

系统电阻

<3.5 x 10

Ω

接地防静电服系统

ANSI/ESD STM2.1

系统电阻

<3.5 x 10

Ω

ESD TR53

防静电服章节

系统电阻

<3.5 x 10

Ω

防静电鞋具-

地面系统 –

(两个指标都必须满

足）

(6)

ANSI/ESD

STM97.1

系统电阻

<1.0 x 10

Ω

ESD TR53

防静电鞋具章节

系统电阻

<1.0 x 10

Ω

(7)

ANSI/ESD

STM97.2

峰值 <100V

ESD TR53

防静电地面章节

对地电阻

<1.0 x 10

Ω

(7)

8.3

静电防护区

(EPA)

所有涉及未使用防静电包装的 ESDS 物品、部件、组件和设备的操作都必须在明显区域划分的EPA

内执行。

EPA 可由一个单独的工作台、整个房间、整栋建筑或其它规划的区域构成。

只有完成了 ESD 管控体系规定培训的人员，才能进入 EPA 作业。未完成培训的个人进入 EPA 时

必须有完成培训的人员陪同。

只要有操作 ESDS 物品的地方，就必须建立 EPA。在 EPA 内，可采取多种静电防护措施。表 3 列

出了一些相关可选用防静电物品。如执行单位决定选用某防静电物品，则必须严格按照其在表 3 中

规定的技术指标和测量规范管控。

8.3.1

绝缘体

组织的 ESD 管控体系应包括绝缘体管制方案，以减轻绝缘体静电场强感应可能造成的 CDM 损坏的

影响。所有非必用绝缘体必须与 ESDS 物品保持至少 300mm 的距离。当进行工艺风险评估时，对

于必用绝缘体的评估，必须以其实际的使用状况进行。EPA 内允许设立指定区域来存储易产生静电

的物品，但该区域的设立也必须还能保证可以符合以下的要求。

在作首次工艺确认或后续的符合性验证测量工作时，必须确保能满足下列要求之一：

• 在处理 ESDS 物品的位置，所测量的静电场，其静电场强度必须小于 5000V/m（125V/英寸）

• 当无保护 ESDS 物品与必用绝缘体的距离小于或等于 25mm 时，用非接触式电压表测量该绝

缘体表面的电压，必须小于 125V。如果使用的是场强测试仪，则在该仪表规定的测量距离测

出的读数必须小于 125V。

应定期进行人体电压测试，以验证该电压是否仍小于 100V。

技术指标 <1.0 x 10

Ω 是允许的管控上限，组织应记录并采用物品导入工作所测量的系统电压能满足小于

100V 时的最大系统电阻值，作为实际符合性验证计划的管控技术指标。

ANSI/ESD S20.20-2021

• 当无保护的 ESDS 物品与必用绝缘体的距离大于 25mm 但小于 300mm 时，用非接触式电压表

测量该绝缘体表面的电压，必须小于 2000V。如果使用的是场强测试仪，则在该仪表规定的测

量距离测出的读数必须小于 2000V。

注: 测量绝缘体时应反映 EPA 内实际应用场景，该绝缘体不应人为摩擦产生静电。如需更多说明，可参阅

ESD TR20.20

注：如需有关绝缘体管控技术的更多说明，可参阅 ESD TR20.20。

注：静电场的准确测量要求测量人员熟悉设备的工作原理。场强测试仪对来自带电表面的静电场作出响应，在

该仪表规定的测量距离的场强转换成静电压。当测量体形相对大的导体时，在仪表规定的测量距离下测到的读

数将是导体上的实际电压。而对于非均匀带电的绝缘体，场强测试仪所显示的电压(按仪表规定的测量距离测

量时)则是该绝缘体测试部位的静电场强的平均值。

注：如果使用的是非接触式电压表，则必须保证该表可分辨的最小测量区域（点测试分辨率）将是小于被测的

绝缘体。这分辨率是仪表探头孔径大小和到被测物体的距离的组合，因此建议以仪表制造商规定的最小距离测

量物品。

8.3.2

孤立导体

如果一个与 ESDS 物品接触的导体不能有效接地或形成等电位连接时，则必须确保该孤立导体与地

之间的电位差在 -35V 到 +35V 之间。对于不与 ESDS 物品接触的导体，必须满足第 8.3.1 节中对绝

缘体的要求。

注：建议使用高阻抗接触电压表以取得较准确的读数。如果使用的是非接触式电压表或场强测试仪，则必须保

证该表可分辨的最小测量区域（点测试分辨率）将是小于被测的孤立导体。对于非接触式电压表而言，这分辨

率

是仪表探头孔径大小和到被测物体的距离的组合，因此建议以仪表制造商规定的最小距离测量物品。