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ANSI/ESD S20.20 - 2021 4 当组织选择鞋具 - 地面系统作为人员接地方法时，符合性验证记录将不适用于进行本标准规定的防静电物品导入工作。该导入工作必须按照表 2 中规定的平衡环境条件测试，或如上述描述情况，以组织厂房设施的最低相对湿度条件进行。如使用超过一种鞋具 - 地…

ANSI/ESD S20.20-2021

6.3

适用性调整

本标准或其部分可能不适用于所有的 ESD 管控体系。任何偏离（低于本标准控制要求）或删除本

标准规定要求的都被视为调整。对于该规定要求的删减或修改决定, 需要有理论依据，通过数据作

为支撑，并将这些依据归档于 ESD 管控体系手册中。更多信息见附录 C。

7.0 ESD

管控体系之行政管理要求

7.1 ESD

管控体系手册

采用本标准的组织需将所制定的 ESD 管控体系形成文件记录，并确保该手册涵盖以下内容：

• 人员培训计划

• 防静电物品导入计划

• 防静电物品符合性验证计划

• 接地/等电位连接系统

• 人员接地系统

• 静电防护区 (EPA)

• 防静电包装

• 标识

ESD 管控体系手册是实施和验证该体系的主要文件。组织的目标应该是建立一个完善且能够完全

融入组织的质量体系（QMS）的 ESD 管控体系。手册必须明确本组织内所有需要 ESD 管控的运

作环节。

7.2

人员培训计划

需制定培训计划，确保所有处置或接触任何静电敏感物品的人员都接受上岗与定期的培训，培训内

容为防静电意识和静电防范知识。人员处理静电敏感物品前应进行上岗（初次）培训。培训的方式、

定期培训的频率、相关培训记录和记录存放的场所需在人员培训计划中明文规定。至于培训的传授

方法和具体技巧，由组织自主选择。人员培训计划还需明确判断学员理解程度的方法和验证培训有

效性的方法。

7.3

防静电物品导入计划

为了确保选用的防静电物品符合本标准表 2、3 和 4 中所规定的要求，组织需制定防静电物品导入

计划，这些要求包括测试方法和技术指标。

该导入工作需在选购初期和投入使用前进行，可采用以下任一方式：

1) 产品规格书审核

2) 第三方实验室的评估，或

3) 内部实验室评估

无论采

用以上哪个导入方式，导入的记录必须包括测试方法及相应的测试结果和技术指标。此外,

还需记录规范所要求的样品平衡（环境）条件，以及保存这些记录的位置。

如果组织的厂房设施的最低相对湿度（RH）高于测试规范所规定的样品平衡（环境）条件，则针

对仅限于在该厂房设施内使用的防静电物品，可采用厂房设施的最低相对湿度进行导入。但是，任

何需要用于组织地点以外的防静电物品（如防静电包装），其导入测试的环境条件必须严格遵循本

标准表 2、3 和 4 的规定。

针对组织在决定采用本标准之前已导入的防静电物品，可使用相关的符合性验证数据来完成正式导

入工作，但这些检测数据必须至少覆盖一年的时间框架，且符合本标准表 2、表 3 和表 4 中规定的

符合性验证要求的技术指标。

ANSI/ESD S20.20-2021

当组织选择鞋具-地面系统作为人员接地方法时，符合性验证记录将不适用于进行本标准规定的防

静电物品导入工作。该导入工作必须按照表 2 中规定的平衡环境条件测试，或如上述描述情况，以

组织厂房设施的最低相对湿度条件进行。如使用超过一种鞋具-地面组合，则各组合都需单独完成

导入工作。

7.4

防静电物品符合性验证计划

为了确保使用的防静电物品符合本标准表 2、3 和 4 的相关要求（包括测试方法和技术指标），组

织须建立符合性验证计划。该计划须明确需要定期测试的防静电物品及相应的测试频率。

符合性验证计划须记录相关的测量设备和测试方法。如果组织使用的测试方法或技术指标偏离本标

准中表 2、3 和 4 所规定的要求，则必须在 ESD 管控体系手册中对适用性调整进行说明，并提供相

关的技术理论依据。

符合性验证的相关记录是防静电物品符合本标准技术要求的证据，必须妥善保存并规定记录的保存

地点位置。

组织必须依据测试的技术条件选用合适的测试设备。

注：测试设备的校准证书并不等于该设备具备有关的测试能力。

8.0 ESD

管控体系之技术要求

这部分（第 8 条）对建立 ESD 管控体系时需要考虑到的技术要求提出规定。每个选用的防静电物

品或与静电敏感物品有接触的防静电物品都必须满足本标准指定的测试方法和技术指标。

这些技术指标必须是根据表中规定的测试方法或标准执行。符合性验证计划须注明用于确认符合技

术指标的测试方法。

8.1

接地

等电位连接系统

为了确保静电敏感物品、人员和任何其它可能接触到静电敏感物品的导体(如推车)处于等电势水平，

这些物品必须进行接地或等电位连接。执行接地/等电位连接方式应从表 1 中任选其一。

接地系统不需要执行符合性验证，新建厂房时有进行相

关测试即可；如果用户安装了接地故障断路

器(GFCI)，这种测量是不需要的。

注：在进行电气系统维护或升级后，应考虑对接地系统进行验证测试。

表

接地

等电位连接系统之技术要求

项目

实施方案

测试规范

技术指标

接地/等电位连接系统

电气装置的保护接地

ANSI/ESD S6.1

阻抗 <1 Ω

（

）

单独设置的防静电接地

ANSI/ESD S6.1

与电气保护导体（接地

线）间电阻 <25 Ω

等电位连接系统

ANSI/ESD S6.1

<1.0 x 10

Ω

（

）

8.2

人员接地系统

所有接触 ESDS 物品的人员都要与接地或等电位连接系统实现电气连接。人员接地的方式可从表 2

中任选一项。

如果系统配置 GFCI，则不需要进行此测试。该测试可能启动 GFCI 保护功能。

任一防静电物品与公共连接点之间的最大电阻值。

ANSI/ESD S20.20-2021

如操作人员是坐着作业的，他们必须通过防静电腕带与接地/等电位连接系统实现连接。

如操作人员是站立作业的，他们必须通过防静电腕带或防静电鞋具-地面系统与接地/等电位连接系

统实现连接。这些连接都必须符合表 2 的技术要求。

如果人员接地是通过防静电服来实现的，则须在 ESD 管控体系手册中注明，且必须同时符合表 2

中对接地防静电服系统的电阻值要求和表 3 中对接地防静电服的要求。

表

：人员接地系统之技术要求

项目

物品导入

符合性验证

测试规范

技术指标

测试规范

技术指标

防静电腕带系统

ANSI/ESD S1.1

系统电阻

<3.5 x 10

Ω

ESD TR53

防静电腕带章节

系统电阻

<3.5 x 10

Ω

接地防静电服系统

ANSI/ESD STM2.1

系统电阻

<3.5 x 10

Ω

ESD TR53

防静电服章节

系统电阻

<3.5 x 10

Ω

防静电鞋具-

地面系统 –

(两个指标都必须满

足）

(6)

ANSI/ESD

STM97.1

系统电阻

<1.0 x 10

Ω

ESD TR53

防静电鞋具章节

系统电阻

<1.0 x 10

Ω

(7)

ANSI/ESD

STM97.2

峰值 <100V

ESD TR53

防静电地面章节

对地电阻

<1.0 x 10

Ω

(7)

8.3

静电防护区

(EPA)

所有涉及未使用防静电包装的 ESDS 物品、部件、组件和设备的操作都必须在明显区域划分的EPA

内执行。

EPA 可由一个单独的工作台、整个房间、整栋建筑或其它规划的区域构成。

只有完成了 ESD 管控体系规定培训的人员，才能进入 EPA 作业。未完成培训的个人进入 EPA 时

必须有完成培训的人员陪同。

只要有操作 ESDS 物品的地方，就必须建立 EPA。在 EPA 内，可采取多种静电防护措施。表 3 列

出了一些相关可选用防静电物品。如执行单位决定选用某防静电物品，则必须严格按照其在表 3 中

规定的技术指标和测量规范管控。

8.3.1

绝缘体

组织的 ESD 管控体系应包括绝缘体管制方案，以减轻绝缘体静电场强感应可能造成的 CDM 损坏的

影响。所有非必用绝缘体必须与 ESDS 物品保持至少 300mm 的距离。当进行工艺风险评估时，对

于必用绝缘体的评估，必须以其实际的使用状况进行。EPA 内允许设立指定区域来存储易产生静电

的物品，但该区域的设立也必须还能保证可以符合以下的要求。

在作首次工艺确认或后续的符合性验证测量工作时，必须确保能满足下列要求之一：

• 在处理 ESDS 物品的位置，所测量的静电场，其静电场强度必须小于 5000V/m（125V/英寸）

• 当无保护 ESDS 物品与必用绝缘体的距离小于或等于 25mm 时，用非接触式电压表测量该绝

缘体表面的电压，必须小于 125V。如果使用的是场强测试仪，则在该仪表规定的测量距离测

出的读数必须小于 125V。

应定期进行人体电压测试，以验证该电压是否仍小于 100V。

技术指标 <1.0 x 10

Ω 是允许的管控上限，组织应记录并采用物品导入工作所测量的系统电压能满足小于

100V 时的最大系统电阻值，作为实际符合性验证计划的管控技术指标。