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ANSI/ESD S20.20 - 2021 15 （本附录不属于 ESD 协会 ANSI/ESD S20.20 - 2021 标准的一部分）附录 D （资料性） - 参考文献以下列出的文件供参考。一些文件可能已被取消。不过，本清单提供了在编制本标准期间所参考的文件。美国军用标准 MIL - STD - 3010, Federal Test Method Standa…

ANSI/ESD S20.20-2021

表 3，物品导入和符合性验证规定的离子化静电消除器的平衡电压(峰值): -35V< 平衡电压 <35V。

偏离要求的技术理由

在前端制造工艺中，晶圆的静电敏感度明显低于切割后的管芯。

本 ESD 管控体系所涵盖的 EPA 区域内使用的是安装在天花板上的室内离子化静电消除系统。这个

离子化静电消除系统的主要目的是为了控制微污染。它将被用于降低任何晶圆制造环节中通常存在

的许多工艺必用绝缘体上的电荷。广泛覆盖(相对于使用点)的离子化静电消除系统在任何晶圆制造

过程中都是至关重要的，它可以减少许多工艺必用绝缘体上的电场。在个别特殊的应用场合，当工

程部或 ESD 管控体系总负责认为有必要设定更严格要求时，平衡电压的最大峰值可设定为 ±35V。

不可接受的或不必要的适用性调整声明的例子和相关技术理由

示例

适用性调整声明

组织决定不使用防静电座椅因为 EPA 区内作业是要求必须佩戴防静电腕带的。

ANSI/ESD S20.20

受影响的要求

第 8.2 节(人员接地系统)，第二段:“ 如操作人员是坐着作业的，他们必须通过防静电腕带与接地/等

电位连接系统实现连接。”

为什么这种适用性调整的声明是不必要的

标准没有要求必须使用防静电座椅。防静电座椅只是标准表 3 中列出 EPA 的多个“可选”防静电物品

之一。标准的实际要求是只要是坐着作业的人员就需要佩戴接地的防静电腕带，没有其它要求，与

是否使用防静电座椅无关。

示例

适用性调整声明

: 非必用绝缘体不允许在组织的 EPA 指定区域内。

ANSI/ESD S20.20

受影响的要求

第 8.3.1 节(绝缘体)，第一段，第二句:“ 所有非必用绝缘体必须与 ESDS 物品至少相隔 300mm”。

为什么这种适用性调整的声明是不必要的

通过制定不允许非必用绝缘体进入 EPA，已符合 ANSI/ESD ESD S20.20 中规定的确保所有非必用

绝缘体与 ESDS 物品至少相隔 300mm 的要求。因此，没有该声明的必要。

示例

适用性调整声明

在 EPA 内使用的工作表面的对地电阻的下限设为大于 1.0 x 10

Ω 而不是规范中的 0 Ω。

ANSI/ESD S20.20

受影响的要求

表 3，分别使用 ANSI/ESD STM4.1 进行物品导入测试和 ESD TR53 进行符合性验证测试的“点对

接地点”和“对地电阻”最小电阻值技术指标为 0 Ω。同时在 7.3 节(防静电物品导入计划)和 7.4 节

(防静电物品符合性验证计划)中，必须满足表 3 所要求的测试技术指标。

为什么这种适用性调整的声明是不必要的

组织采用的下限是处于规定的技术指标范围内。既然是在标准规定的技术指标范围内，就不需要作

适用性调整。这个特定下限值可作为这个站点的要求。!

ANSI/ESD S20.20-2021

（本附录不属于 ESD 协会 ANSI/ESD S20.20-2021 标准的一部分）

附录

（资料性）

参考文献

以下列出的文件供参考。一些文件可能已被取消。不过，本清单提供了在编制本标准期间所参考的

文件。

美国军用标准

MIL-STD-3010, Federal Test Method Standard 包装材料测试方法

MIL-PRF-81705, Barrier Materials, Flexible, Electrostatic Discharge Protective, Heat Sealable

阻隔材料，柔韧性，静电放电保护，可热封

MIL-PRF-38534, Performance Specification: Hybrid Microcircuits, General Specification 性能规范 :

混合微电路, 通用规范

MIL-PRF-38535, Performance Specification: Integrated Circuits (Microcircuits) Manufacturing,

General Specification 性能规范 : 集成电路(微电路)制造，通用规范

MIL-STD-883-3 Method 3015, Test method standard for

microcircuits 方法 3015，微电路的测试方法

MIL-STD-750-1 Method 1020, Test methods for semiconductor devices

方法 1020，半导体器件的测试方法

MIL-PRF-19500, Semiconductor Devices, General Specification 半导体器件，通用规范

MIL-STD-1686, Electrostatic Discharge Control Program for Protection of Electrical and

Electronic Parts, Assemblies and Equipment (Excluding Electrically Initiated Explosive Devices) -

This standard has been cancelled 用于保护电气和电子部件、组件和设备 (不包括电气引爆装置)

的静电放电管控体系 -

该标准已被取消

MIL-HDBK-263, Electrostatic Discharge Control Handbook for Protection of Electrical and

Electronic Parts, Assemblies, and Equipment (Excluding Electrically-Initiated Explosive Devices) -

This handbook has been cancelled 用于保护电气和电子部件、组件和设备 (不包括电气引爆装置)

的静电放电管控手册-

该手册已被取消

MIL-M-38510, General Specification for Military Microcircuits 军用微电路通用规范 –

该标准已处于闲置状态

MIL-DTL-82646, Plastic Film, Conductive, Heat Sealable, Flexible

塑料薄膜，导电型，可热封，柔韧性

MIL-PRF-87893, Workstations, Electrostatic Discharge (ESD) Control

工作站，静电放电(ESD)管控

MIL-STD-129, Marking for Shipment and Storage 装运和储存标识

MIL-STD-1285, Marking of Electrical and Electronic Parts 电气和电子部件的标识

KSC-MMA-1985-79, Standard Test Method for Evaluating Triboelectric Charge Generation and

Decay 评估摩擦静电产生和衰减的标准测试方法

MIL-HDBK-103, List of Standard Microcircuit Drawings 标准微电路图纸清单

Supplemental Information Sheet for Electronic QML-19500 电子部件补充信息

行业标准

ANSI/IEEE-STD-142, IEEE Green Book (IEEE Recommended Practice for Grounding of

Industrial and Commercial Power Systems) IEEE 绿皮书(IEEE 工业和商业电力系统的接地规范)

ANSI/ESD S20.20-2021

ANSI/ESD SP5.0, ESD Association Standard Practice for Electrostatic Discharge Sensitivity

Testing – Reporting ESD Withstand Levels on Datasheets 静电敏感度测试 -

在规格书上报告静电敏感度水平

ANSI/ESDA/JEDEC JS-001, ESDA/JEDEC Joint Standard for Electrostatic Discharge Sensitivity

Testing – Human Body Model (HBM) – Component Level 静电敏感度测试-人体模型(HBM)-器件级

ANSI/ESDA/JEDEC JS-002, ESDA/JEDEC Joint Standard for Electrostatic Discharge Sensitivity

Testing – Charged Device Model (CDM) – Device Level 静电敏感度测试-带电器件模型(CDM)-

器件级

ESD SP5.2, ESD Association Standard Practice for Electrostatic Discharge Sensitivity Testing -

Machine Model (MM) – Component Level 静电敏感度测试 - 机器模型(MM)-器件级

ANSI/ESD SP10.1, ESD Association Standard Practice for the Protection of Electrostatic

Discharge Susceptible Items – Automated Handling Equipment (AHE) 自动取放设备(AHE)

ANSI/ESD STM15.1, ESD Association Standard Test Method for the Protection of Electrostatic

Discharge Susceptible Items – Methods for Resistance Measurement of Gloves and Finger Cots

手套和指套的电阻测量方法

ANSI/ESD SP17.1, ESD Standard Practice for the Protection of Electrostatic Discharge

Susceptible Items – Process Assessment Techniques 制造过程评估技术

ESD TR20.20, ESD Association Technical Report – Handbook for the Development of an

Electrostatic Discharge Control Program for the Protection of Electronic Parts, Assemblies, and

Equipment 用于规划对电子部件，组件和设备实施静电防护的 ESD 管控体系的指导手册

JESD 625, Requirements for Handling Electrostatic-Discharge-Sensitive (ESDS) Devices

处置静电敏感器件的规范

IPC/JEDEC J-STD-033, Handling, Packing, Shipping and Use of Moisture Reflow, and Process

Sensitive Devices 潮湿、再流焊敏感表贴装器件的操作、包装、运输及使用

TR3.0-02-05, Selection and Acceptance of Air Ionizers 离子化静电消除器的选择与验收

ESDSIL, Reliability Analysis Center (RAC) ESD Sensitive Items List RAC 静电敏感项列表

JESD471, Symbol and Label for Electrostatic Sensitive Devices 静电敏感器件的符号和标签

IEC 61340-5-1, Protection of Electronic Devices from Electrostatic Phenomena – General

Requirements 电子器件的静电防护—通用要求

VZAP, Electrostatic Discharge Susceptibility Data VZAP 静电敏感度数据

ISO 9001, Quality Management Systems – Requirements ISO 9001 质量管理体系-要求