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NPM- TT2 EJM1EC-MB-04T-01 4-1 -10 负 荷 配 置 图 交换台车切换单元 前侧 : S401 S402 S409 后侧 : S403 S404 S410 前侧 : S405 S406 后侧 : S407 S408 ■供给部切换规格
NPM-TT2 EJM1EC-MB-04T-01
故障排除篇
4-1
负荷配置图 5
高度传感器
B1G00
4-1-9
NPM-TT2 EJM1EC-MB-04T-01
4-1-10
负
荷
配
置
图
交换台车切换单元
前侧 :
S401
S402
S409
后侧:
S403
S404
S410
前侧 :
S405
S406
后侧 :
S407
S408
■供给部切换规格
NPM-TT2 EJM1EC-MB-04T-01
负荷
一览表
马达一览表 1
故障排除篇
4-2-1
标准部
单元名称
No.
名称 配置位置 备注
主体部
M501
X轴马达 前侧
M502
M506
Y轴马达 前侧
M503
X轴马达 后侧
M504
M508
Y轴马达 后侧
G103
冷却风扇1 前侧
G104
冷却风扇2 后侧
G111
设备内部冷却风扇
G201
真空泵
后侧
基板传送带
M601
搬送马达1 轨道1
M602
搬送马达2 轨道1
M603
搬送马达3 轨道1
M604
搬送马达1 轨道2
M605
搬送马达2 轨道2
M606
搬送马达3 轨道2
M607
宽度调整轴马达 轨道1
M608
宽度调整轴马达 轨道2
4-2-1-1