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NPM- TT2 EJM1EC-MB-02T-02 外部输入单一停止错误 基板吸着泵温度异常 错 误 对 策 错误代码 错误信息 错误原因 检查和对策 可考虑以下某种原因。 1) 基板吸着真空泵出现故障。 2) 热继电器的保护电流值设定 有错误。 ( 发生了自我诊断错误。 ) 重新设定热继电器保护电流值 , 在 ,[ 机 器 ]-[ 调整 ]-[ 全体 ]-[ 输出确认 ] 画面中确 认基板吸着真空泵的动作。确认有异 常时请联系本公司。…
NPM-TT2 EJM1EC-MB-02T-02
安全继电器复位异常。
相对方向Y轴位置错误
(相对方向没有台车)
相对方向Y轴位置错误
(相对方向有台车)
顶部风扇2异常
错误
信息
故障排除篇
2-1-2
自己诊断错误 21
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
主机顶部的风扇停止。
(发生了自我诊断错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认风扇中是否有障碍物相互干
扰
2)请检查线路中是否有线脱落。
40132
在XY单元动作范围内相对方
向的XY单元停止动作。
(发生了自我诊断错误。)
请手动把相对方向的XY单元移动到
原点位置。
40133
相对方向的XY单元从退避位
置脱离。
(发生了自我诊断错误。)
请手动把相对方向的XY单元移动到
退避位置。退避位置是在Y轴上贴着
的白色标签处。请把XY单元移动到
白色标签说明的位置。
40134
安全继电器复位异常。因为
安全盖一瞬间变成闭状态,安
全继电器不能复位。
(发生了自我诊断错误。)
前侧或者后侧的安全盖暂且开大一点
然后关闭。
40135
2-1-2-41
NPM-TT2 EJM1EC-MB-02T-02
外部输入单一停止错误
基板吸着泵温度异常
错
误
对
策
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
可考虑以下某种原因。
1)基板吸着真空泵出现故障。
2)热继电器的保护电流值设定
有错误。
(发生了自我诊断错误。)
重新设定热继电器保护电流值,在,[机
器]-[调整]-[全体]-[输出确认]画面中确
认基板吸着真空泵的动作。确认有异
常时请联系本公司。
40136
由于是客户开发的特殊系统
有单一停止要求。
(发生了自我诊断错误。)
请解除由客户开发的特殊系统所发出
的单一停止要求。在[机器]-[调整]-[全
体]-[输入确认]画面中可以确认单一
停止输入状态。
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NPM-TT2 EJM1EC-MB-02T-02
吸着前检查通信异常
没有供料器盖或是没有
托盘供料器
错误
信息
故障排除篇
2-1-2
自己诊断错误 22
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
没有供料器盖或是没有安装
托盘供料器。或者是当托盘
供料器/交换台车切换规格时，
传感器切换部把手的设定不
一致。
(发生了自我诊断错误。)
请实施其中某个对策。
1)使用整体交换台车时,请安装供料
器盖。
2)使用托盘供料器时,安装托盘供料
器后,请将钥匙插入托盘供料器检
出开关。
3)当是托盘供料器/交换台车切换规
格时，请将传感器切换部把手的设
定设成一致。
4)再发生时,请在[机器]-[调整]-[全体]-
[输入确认]画面中确认供料器盖以
及托盘检出开关的连接。
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机器-LNB-ISS(检查服务器软
件)间的通信状态异常。
(发生了自我诊断错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认机器-LNB间，LNB-ISS间
的通信系统。
2)请确认LNB与ISS的状态或设定。
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