快速电路板制作.a6274180591668c0d96448d189f28601.pdf - 第28页
快易腐蚀/显影/去膜设备 Etching/ Developing /Stripping Equipment 29 德中 DES300 一体机，首次将 电路板轻量化 DES 制作概念引入国内 。 设备具有显影、 蚀刻、去膜、 水 洗、 微蚀、 OSP 及干燥共七种功能， 是一款真正意义 上的电路板制作一体机。 显影/蚀刻 DES300 使用与大型腐蚀设备相同 的垂直喷淋方 式， 喷嘴位置经过详细计算， 且每组喷嘴都配有独立 的节流阀， 可…
紫外双面曝光机
EX300
采用进口紫外灯管作为光
源，同时使用双面麦拉膜晒架，能够曝光细至
75μm
的线路图形，能满足绝大多数线路板生产中曝光需求
EX300
具有专门设计的遮光结构，比普通紫外曝光机
更加安全。
德中还提供使用
LED
紫外光源的旋转曝光机，其
适用于空心圆锥体，圆柱体的侧表面曝光，锥度及直
径可调，最大可适用于高
1100mm
，直径
600mm
的工
件。目前在航空航天，微波通信领域均有实际应用。
LED
精密曝光机
EL400
使用
LED
紫外线光源模组
由于光谱窄，杂波很少，曝光过程中材料表面的温度
几乎不会上升，胶片不会因受热而变形，使得曝光图
形尺寸相当精确。
Easy Processing - UV Exposure Equipment
26
结构
紫外曝光机
LED
精密曝光机
EL400
LED
旋转曝光机
LED
精密曝光机
EL400
的光源寿命是普通紫外光
源的
25
倍左右，因此设备几乎不用更换光源。并且
LED
光源衰减很慢，使得不同批次的产品曝光一致性
非常好，有利于生产工艺控制及研发试验。
光源
紫外双面曝光机
EX300
300 350 400 450 500
1
0.9
0.8
0.7
0.6
0.5
0.4
0.3
0.2
0.1
0
波长
(nm)
相应光谱能力
LED
精密曝光机
EL400
采取线式光源扫描的结构
充分保证了出射紫外光的平行性，从而可以曝光更细
的线路。同时选用步进电机传动，使得光源在同一时
间曝光能量高度一致，整板曝光均匀。
快易腐蚀/显影/去膜设备
Etching/ Developing /Stripping Equipment
德中快易腐蚀
/
显影
/
去膜设备，根据配置药液不同，分为
EU/DU/SU
系列，用于电路板精密线路蚀
刻、高分辨率解析显影、干膜退膜、表面微蚀、棕化等工艺，也可用于软板、硬板、软硬结合板、微波
混合电路、
SMT
模板、壳体的蚀刻加工。
采用垂直传动喷淋技术，均匀性好，可制作细至
50μm
的线路
智能传动次数设置，四种工作模式，易用性强，无需药液分析，适合非连续性生产
专门设计的非接触式夹具，柔性材料同样适用
无需上下水，遮帘式设计，环保及安全性强
Design Comes True
参数更改，恕不通知
技术参数
波长
电源
功率
设备重量
最小解析线宽度
最小解析线间距
最大曝光幅面
产能
真空度
光源
透光材料
25 μm
25 μm
400x300 mm
30 PNL/h
60Kpa
PMMA
395 nm
220VAC/50Hz 220VAC/50Hz
0.25 kW
0.3 kW
25 kg 20.5 kg
紫外
LED
75 μm
75 μm
305x230 mm
120 PNL/h
60Kpa
麦拉膜
365 nm
UV-A
灯管
EL400 EX300
快易腐蚀/显影/去膜设备
Etching/ Developing /Stripping Equipment
29
德中
DES300
一体机，首次将电路板轻量化
DES
制作概念引入国内。设备具有显影、蚀刻、去膜、水
洗、微蚀、
OSP
及干燥共七种功能，是一款真正意义
上的电路板制作一体机。
显影/蚀刻
DES300
使用与大型腐蚀设备相同的垂直喷淋方
式，喷嘴位置经过详细计算，且每组喷嘴都配有独立
的节流阀，可根据线路板位置及药液流向精确调整喷
淋压力，保证在线路板每个位置的显影/蚀刻速率相同
不同于大多数小型设备的静止喷淋，
DES300
在
喷淋的同时，使用摆动方式进行往复运动，避免了由
于喷淋扇面一直处于固定位置而引起的显影/蚀刻不均
匀现象，所以
DES300
可以显影/蚀刻
3mil
的线宽及
导线间距。
去膜/微蚀/
OSP
为了节省成本及空间，
DES300
的去膜/微蚀/
OSP
都采取垂直浸泡的方式，槽内都有独立控温的钛加热
管，且有便于清洁的特殊结构，既简单，又实用。
水洗/干燥
DES300
使用二级水洗加顶端喷淋的水洗方法
保证线路板清洗质量。
DES300
配备两种干燥线路板的方法：吸水辊轮
挤干及热风烘干。其中热风烘干使用高速风机及高功
率加热模块，可自动启停，烘干速度快，适合连续工
作。
结构
DES300
在设备结构及细节上有若干专利设计
真正使小型腐蚀设备符合环保要求，而且也使小型设
备真正适合连续工作，使
DES300
成为实验室及生产兼
顾的环保设备。
专利设计的液封压盖结构，可以保证设备在蚀刻
过程中密封良好，无药液及气体外泄。
快易一体机
DES300
在喷淋槽底有便于取放的过滤网，同时在药液槽
底部有专门设计的沉积床，两种过滤方法结合，既便
于清洁，又能确保喷淋药液始终清洁，可以满足连续
生产的需求。
快易腐蚀/显影/去膜设备
Etching/ Developing /Stripping Equipment28
结构
腐蚀
EU400/
显影
DU400/
去膜设备
SU400
夹具
德中
EU400/DU400/SU400
系列设备均使用垂直
传动喷淋技术，具有明显优势：
基于上述特点，采用的垂直传动喷淋技术能制作
相当精细的线路，对于一般线路板的显影、蚀刻，采
用该蚀刻技术的设备可以制作线宽间距细至
50μm
的线
路或抗蚀图形；在配合薄感光材料和其它相关设备的
情况下，德中该系列设备可以制作线宽
5μm
的微波混
合电路，甚至在一定程度上替代了做极细线路而使用
半导体制作工艺，填补了传统印刷电路板制作技术与
半导体湿法蚀刻工艺的工艺空白。
对比静止浸泡蚀刻技术，解决了药液交换速度慢
的问题，在保证精度的情况下可达到相当快的蚀刻速
度，真正具备了中小批量
PCB
生产的能力。
德中
EU400/DU400/SU400
系列设备配置专门设
计的无接触式夹具，软、硬板通用，使用者可以很容
易的将线路板固定到夹具上，仅有工艺边和夹具接触
摒弃了传统腐蚀设备的辊轮直接夹持或拖动前进方法
从根本上解决了因辊轮遮挡造成的药液喷淋不均匀
局部蚀刻速率不一致的问题。夹具带有绷紧功能，克
服了被夹持柔性材料中间位置因药液冲击出现的褶皱
或者抖动，保证在整个喷淋过程中材料平整稳定。
夹具竖直传动，避免了辊轮接触材料表面，避免
了辊轮传递电路板表面杂质从而造成板面污染问题。
德中
EU600/DU600/SU600
系列设备有效幅面可
达
600×600mm
，适合更大面积的板材及更大批量生产
设备使用德国大功率循环泵，采用单向传动加往复移
动的组合运动方式，蚀刻更均匀，速度更快。设备配
有独特的循环过滤副槽，不仅使药液更加清洁，配置
药液与清理杂质也更为方便。
易用性
德中
EU400/DU400/SU400
全系列设备具备智能
传动次数设置功能，根据不同的表面材料厚度可设置
不同的传动速度以及待去除材料在喷淋段中往返传动
次数。该系列设备均内置四种传动工作模式，可以针
对不同药液浓度以及被去除材料厚度进行调整。
设备待加工材料经过喷淋段后直接进入水洗段
两段均为智能感应器控制，待加工材料进入后，该段
自动开启喷淋，待加工材料离开后，该段自动关闭喷
淋，易于操作且减少设备无效工作时间。
全系列设备所用药液经过精心验证，无需实时药
液分析，节省操作时间，简化了操作流程。药液在设
备中不会迅速分解变性，适合非连续性生产。
腐蚀
EU600/
显影
DU600/
去膜设备
SU600
与垂直静止喷淋方式相比，垂直传动喷淋的喷嘴
与被加工材料位置相对不固定，局部蚀刻速率更均匀
保证了整面蚀刻的一致性更好；
相对于水平传动摆动方式而言，垂直传动喷淋有
效避免了上下面蚀刻速率一致性差，被加工材料顶面
水池效应不再出现；
快易腐蚀/显影/去膜设备
Etching/ Developing /Stripping Equipment
29
德中
DES300
一体机，首次将电路板轻量化
DES
制作概念引入国内。设备具有显影、蚀刻、去膜、水
洗、微蚀、
OSP
及干燥共七种功能，是一款真正意义
上的电路板制作一体机。
显影/蚀刻
DES300
使用与大型腐蚀设备相同的垂直喷淋方
式，喷嘴位置经过详细计算，且每组喷嘴都配有独立
的节流阀，可根据线路板位置及药液流向精确调整喷
淋压力，保证在线路板每个位置的显影/蚀刻速率相同
不同于大多数小型设备的静止喷淋，
DES300
在
喷淋的同时，使用摆动方式进行往复运动，避免了由
于喷淋扇面一直处于固定位置而引起的显影/蚀刻不均
匀现象，所以
DES300
可以显影/蚀刻
3mil
的线宽及
导线间距。
去膜/微蚀/
OSP
为了节省成本及空间，
DES300
的去膜/微蚀/
OSP
都采取垂直浸泡的方式，槽内都有独立控温的钛加热
管，且有便于清洁的特殊结构，既简单，又实用。
水洗/干燥
DES300
使用二级水洗加顶端喷淋的水洗方法
保证线路板清洗质量。
DES300
配备两种干燥线路板的方法：吸水辊轮
挤干及热风烘干。其中热风烘干使用高速风机及高功
率加热模块，可自动启停，烘干速度快，适合连续工
作。
结构
DES300
在设备结构及细节上有若干专利设计
真正使小型腐蚀设备符合环保要求，而且也使小型设
备真正适合连续工作，使
DES300
成为实验室及生产兼
顾的环保设备。
专利设计的液封压盖结构，可以保证设备在蚀刻
过程中密封良好，无药液及气体外泄。
快易一体机
DES300
在喷淋槽底有便于取放的过滤网，同时在药液槽
底部有专门设计的沉积床，两种过滤方法结合，既便
于清洁，又能确保喷淋药液始终清洁，可以满足连续
生产的需求。
快易腐蚀/显影/去膜设备
Etching/ Developing /Stripping Equipment28
结构
腐蚀
EU400/
显影
DU400/
去膜设备
SU400
夹具
德中
EU400/DU400/SU400
系列设备均使用垂直
传动喷淋技术，具有明显优势：
基于上述特点，采用的垂直传动喷淋技术能制作
相当精细的线路，对于一般线路板的显影、蚀刻，采
用该蚀刻技术的设备可以制作线宽间距细至
50μm
的线
路或抗蚀图形；在配合薄感光材料和其它相关设备的
情况下，德中该系列设备可以制作线宽
5μm
的微波混
合电路，甚至在一定程度上替代了做极细线路而使用
半导体制作工艺，填补了传统印刷电路板制作技术与
半导体湿法蚀刻工艺的工艺空白。
对比静止浸泡蚀刻技术，解决了药液交换速度慢
的问题，在保证精度的情况下可达到相当快的蚀刻速
度，真正具备了中小批量
PCB
生产的能力。
德中
EU400/DU400/SU400
系列设备配置专门设
计的无接触式夹具，软、硬板通用，使用者可以很容
易的将线路板固定到夹具上，仅有工艺边和夹具接触
摒弃了传统腐蚀设备的辊轮直接夹持或拖动前进方法
从根本上解决了因辊轮遮挡造成的药液喷淋不均匀
局部蚀刻速率不一致的问题。夹具带有绷紧功能，克
服了被夹持柔性材料中间位置因药液冲击出现的褶皱
或者抖动，保证在整个喷淋过程中材料平整稳定。
夹具竖直传动，避免了辊轮接触材料表面，避免
了辊轮传递电路板表面杂质从而造成板面污染问题。
德中
EU600/DU600/SU600
系列设备有效幅面可
达
600×600mm
，适合更大面积的板材及更大批量生产
设备使用德国大功率循环泵，采用单向传动加往复移
动的组合运动方式，蚀刻更均匀，速度更快。设备配
有独特的循环过滤副槽，不仅使药液更加清洁，配置
药液与清理杂质也更为方便。
易用性
德中
EU400/DU400/SU400
全系列设备具备智能
传动次数设置功能，根据不同的表面材料厚度可设置
不同的传动速度以及待去除材料在喷淋段中往返传动
次数。该系列设备均内置四种传动工作模式，可以针
对不同药液浓度以及被去除材料厚度进行调整。
设备待加工材料经过喷淋段后直接进入水洗段
两段均为智能感应器控制，待加工材料进入后，该段
自动开启喷淋，待加工材料离开后，该段自动关闭喷
淋，易于操作且减少设备无效工作时间。
全系列设备所用药液经过精心验证，无需实时药
液分析，节省操作时间，简化了操作流程。药液在设
备中不会迅速分解变性，适合非连续性生产。
腐蚀
EU600/
显影
DU600/
去膜设备
SU600
与垂直静止喷淋方式相比，垂直传动喷淋的喷嘴
与被加工材料位置相对不固定，局部蚀刻速率更均匀
保证了整面蚀刻的一致性更好；
相对于水平传动摆动方式而言，垂直传动喷淋有
效避免了上下面蚀刻速率一致性差，被加工材料顶面
水池效应不再出现；