N7201A553C08_SPG_Maintenance_維護保養手冊.pdf - 第139页
SPG EJP6AC-MB-0 4MM-02 4-1-6 -4 更 换 3 4 取下皮带 ●向前拉出后取出。 ●废弃之际,用钳子等 切断后再取下。 ●取下前面与后面的 2 个皮带。 安装新的皮带 ●向里面推进。 ●安装前面与后面的 2 个皮带。

SPG EJP6AC-MB-04MM-02
搬送传送带的基板传送皮带的更换
使用工具:无需 所要时间:10分钟
1 2
取下安全盖
●螺丝(4个)
安全盖
安装安全盖
●螺丝(4个)
安全盖
取下锁头
确认基板搬送
(→“操作篇”的
P.5-1-3)
8
在这里以左侧的传送带为例进行说明。右侧皮带也请按照相同的步骤更换。
4-1-6-3
基板传送皮带的更换 2
更换
维修保养篇
4-1-6
6
7
ON
5
调整皮带张力
(→P.3-4-2-2)
皮带长度 型号 数量
927 mm N510063692AA 4
■基板搬送皮带

SPG EJP6AC-MB-04MM-02
4-1-6-4
更
换
3
4
取下皮带
●向前拉出后取出。
●废弃之际,用钳子等
切断后再取下。
●取下前面与后面的2
个皮带。
安装新的皮带
●向里面推进。
●安装前面与后面的2个皮带。

SPG EJP6AC-MB-04MM-02
4-1-7
温调单元(选购件)的
过滤器更换
(主机、背面机通用)
维修保养篇
4-1-7
更换
1
用ON/OFF开关
使运转停止
2
更换过滤器(无纺布)
过滤器
(无纺布)
3
更换过滤器(网)
过滤器
(网)