N7201A553C08_SPG_Maintenance_維護保養手冊.pdf - 第59页
SPG EJP6AC-MB-0 2MM-02 2-1-3 -4 概 要
SPG EJP6AC-MB-02MM-02
2-1-3-3
各单元定期检查项目2
概要
维修保养篇
2-1-3
No.
单元名
检查、添加润滑油
处
检查、添加润滑油
内容
周期 (时间)
参阅
24 140 560 1000150030006000
7
基板定位
升降机
基板定位单元
的识别用孔
附着物的清扫(工作
结束前)
P.3-2-5
支撑板
附着物的清扫(工作
结束前)
基板支撑板
附着物的清扫(工作
结束前)
夹具挟扣
附着物的清扫(工作
结束前)
支撑轴滚珠丝杠 注油、涂抹润滑油
P.3-4-7
升降机轴滚珠丝杠 注油、涂抹润滑油
θ 轴滚珠丝杠 注油、涂抹润滑油
基板边缘夹具部
线性轴承
注油、涂抹润滑油
P.3-5-2
自动宽度调整轴滚
珠丝杠
注油、涂抹润滑油
自动宽度调整轴线
性轴承
注油、涂抹润滑油
升降机轴线性轴 注油、涂抹润滑油
θ 轴线性轴承 注油、涂抹润滑油
θ 轴连接部 注油、涂抹润滑油
8
温调单元
(选购件)
结露水排水器 排水确认
○
P.3-2-11
过滤器 检查
○
P.3-4-12
热交換器 清扫
○
P.3-4-12
送风机
振动、异常声音的
确认
○
P.3-5-7
9
焊料自动
供给单元
(选购件)
喷嘴垫片
垫片的磨
损状态、
破损的检查、
清扫
(工作前)
P.3-2-9
P.3-2-10
焊料接收盘 清扫
P.3-3-3
10
网板清洁
单元
网板清洁单元吸引
部
清扫
P.3-3-1
Y軸
线性轴承
注油、涂抹润滑油
P.3-5-3
SPG EJP6AC-MB-02MM-02
2-1-3-4
概
要
SPG EJP6AC-MB-02MM-02
概要
各单元定期检查部位 1
维修保养篇
2-1-4
2-1-4-1
主体部
XY工作台
前面图
容器瓶
真空泵(选购件)
过滤器
触摸屏
CPU箱
风扇过滤器
运转气压
基板吸着压(选购件)
网板吸着圧(选购件)
Y轴滚珠丝杠
基板侧面夹紧压
刮刀上升气压
喷射器压(选购件)
X轴线性轴承
Y轴线性轴承
X轴滚珠丝杠