N7201A553C08_SPG_Maintenance_維護保養手冊.pdf - 第149页

SPG EJP6AC-MB-0 5MM-01 1 2 5 6 7 3 4 设定值的输入 1 ●安装基板吸着箱。 ●准备没有弯曲的基板 （ XY 工作台返回原点位置） （基板吸着箱开始吸着） 顺序 5-1-3 -2 准备 : 调 整 (No.18) ( 在真空泵规格下，真空泵将 开始运转 ) (No.77) OFF SERVO ●显示： － 6 ～－ 10 kP a 。 载入基板前 , 确认显示值 8 在基板吸着箱载入基板后 , 确认显示…

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SPG EJP6AC-MB-05MM-01
各种
传感器的
动作确认
真空传感器（选购件）1
真空传感器设置处
各部位的名称和作用
5-1-3-1
维修保养篇
5-1-3
前面图
为了稳定基板吸着,请确认真空传感器。
真空传感器
A
B
C
D
F
E
G
LED显示
现在的压力状态、错误代码。
当前输出模式
次显示屏
显示设定上下限数值、设定代码。
按钮
增大设定值。
按钮
减小设定值。
按钮
确认设定值。
D
A
B
C
E
F
G
单位规格
SPG EJP6AC-MB-05MM-01
1 2
5
6
7
3
4
设定值的输入1
●安装基板吸着箱。
●准备没有弯曲的基板
（XY工作台返回原点位置）
（基板吸着箱开始吸着）
顺序
5-1-3-2
准备:
调
整
(No.18)
(在真空泵规格下，真空泵将
开始运转)
(No.77)
OFF
SERVO
●显示：
－6～－10 kPa。
载入基板前,
确认显示值
8
在基板吸着箱载入基板后,
确认显示值
●一般是,－80～－98 kPa。
●显示值为极端低数值的时候,
确认基板是否有弯曲。
(因为吸着箱和基板之间有间隙)
●显示值变小时，设定为比显示值
小10～20kPa的值。
9
●在这项设定中，[－(负号)]表示真空压，数
值的大小请只以数字部分为准。
注意
SPG EJP6AC-MB-05MM-01
设定值的输入
5-1-3-3
各种
传感器的
动作确认
维修保养篇
5-1-3
真空传感器（选购件）2
9
10
17
18
19
卸下按钮保护盖
●螺丝(2个)
按钮保护盖
长按 键4秒
22
21
20
按键・
设定下限
按或者
设定为「-70」
按键・
设定上限
同时按 和
锁键
确认LED显示
是否是绿色
按或者
设定为「-101」