N7201A553C08_SPG_Maintenance_維護保養手冊.pdf - 第60页
SPG EJP6AC-MB-0 2MM-02 概要 各单元定期检查部位 1 维修保养篇 2-1-4 2-1-4 -1 主体部 XY 工作台 前面图 容器瓶 真空泵 ( 选购件 ) 过滤器 触摸屏 CPU 箱 风扇过滤器 运转气压 基板吸着压 ( 选购件 ) 网板吸着圧 ( 选购件 ) Y 轴滚珠丝杠 基板侧面夹紧压 刮刀上升气压 喷射器压 ( 选购件 ) X 轴线性轴承 Y 轴线性轴承 X 轴滚珠丝杠
SPG EJP6AC-MB-02MM-02
2-1-3-4
概
要
SPG EJP6AC-MB-02MM-02
概要
各单元定期检查部位 1
维修保养篇
2-1-4
2-1-4-1
主体部
XY工作台
前面图
容器瓶
真空泵(选购件)
过滤器
触摸屏
CPU箱
风扇过滤器
运转气压
基板吸着压(选购件)
网板吸着圧(选购件)
Y轴滚珠丝杠
基板侧面夹紧压
刮刀上升气压
喷射器压(选购件)
X轴线性轴承
Y轴线性轴承
X轴滚珠丝杠
SPG EJP6AC-MB-02MM-02
2-1-4-2
识别单元
网板识别照明玻璃盖
X轴滚珠丝杠
Y轴滚珠丝杠
X轴线性轴承
Y轴线性轴承
传送带
刮刀头
刮刀上下线性轴
刮刀轴线性轴承
刮刀支架
刮刀
基板传送皮带
自动宽度调整轴滚珠丝杠
基板检测传感器(3处)
自动宽度调整轴
线性轴
基板传送皮带
自动宽度调整轴
滚珠丝杠
基板检测传感器 (3处)
自动宽度调整轴
线性轴
概
要
刮刀轴滚珠丝杠
刮刀轴滚珠丝杠
基板挡块(基板上按压部 )