N7201A553C08_SPG_Maintenance_維護保養手冊.pdf - 第141页
5 5 Maintenance -1 各种传感器的动作确认 -1-1 基板检测传感器的动作确认 -1-2 清洁溶剂用完传感器 -1-3 真空传感器(选购件) -2 设备维修保养 -2-1 设备维修保养信息的确认 -2-2 更新 -2-3 选项许可 -3 机器参数 -3-1 机器参数的校正 调整
SPG EJP6AC-MB-04MM-02
4-1-7
温调单元(选购件)的
过滤器更换
(主机、背面机通用)
维修保养篇
4-1-7
更换
1
用ON/OFF开关
使运转停止
2
更换过滤器（无纺布）
过滤器
（无纺布）
3
更换过滤器（网）
过滤器
（网）
55
Maintenance
-1
各种传感器的动作确认
-1-1
基板检测传感器的动作确认
-1-2
清洁溶剂用完传感器
-1-3
真空传感器(选购件)
-2
设备维修保养
-2-1
设备维修保养信息的确认
-2-2
更新
-2-3
选项许可
-3
机器参数
-3-1
机器参数的校正
调整
SPG EJP6AC-MB-05MM-01
■传感器设置处
5-1-1-1
基板检测1:左
基板检测1:右
基板检测2:右
各种
传感器的
动作确认
基板检测传感器的动作确认 1
维修保养篇
5-1-1
定位部
基板检测
A B
G
F
传送带间基板检测:左
C
传送带间基板检测:右
E
D
基板检测2:左
■传感器配置模式图
E F
D
B C
A
G
识别单元
照相机单元