N7201A553C08_SPG_Maintenance_維護保養手冊.pdf - 第54页
SPG EJP6AC-MB-0 2MM-02 每 3000 小时的定期检查 每 6000 小时的定期检查 No. 对象单元 检查、添加润滑油处 检查、添加润滑油内容 参阅 1 XY 工作台 X 轴线性轴承 注油、涂抹润滑油 P.3-5-4 Y 轴线性轴承 注油、涂抹润滑油 2 刮刀头 刮刀轴线性轴承 注油、涂抹润滑油 P.3-5-5 刮刀上下线性轴 注油、涂抹润滑油 P.3-5-1 3 识别 / 清洁单元 X 轴线性轴承 注油、涂抹润滑…
SPG EJP6AC-MB-02MM-02
No.
对象单元 检查、添加润滑油处 检查、添加润滑油内容 参阅
1
主体部
刮刀上升气压 气压的确认
P.3-4-1
基板夹具压 气压的确认
2
传送带
基板传送皮带 检查
P.3-4-2
基板检测传感器 清扫
P.3-4-3
3
XY工作台
X轴滚珠丝杠 注油、涂抹润滑油
P.3-4-4
Y轴滚珠丝杠 注油、涂抹润滑油
4
刮刀头
刮刀轴滚珠丝杠 注油、涂抹润滑油
P.3-4-5
上下轴滚珠丝杠 注油、涂抹润滑油
5
识别单元
X轴滚珠丝杠 注油、涂抹润滑油
P.3-4-6
Y轴滚珠丝杠 注油、涂抹润滑油
6
基板定位升降机
基板支撑轴滚珠丝杠 注油、涂抹润滑油
P.3-4-7
升降机轴滚珠丝杠 注油、涂抹润滑油
θ轴滚珠丝杠 注油、涂抹润滑油
7
保护盖
安全开关 检查
P.3-4-8
安全盖 清扫
P.3-4-9
8
真空泵 (选购件) 过滤器 清扫
P.3-4-10
9
信号塔 信号塔 亮灯
P.3-4-11
10
温调单元(选购件)
产品外表 清扫
P.3-4-12
吸入的过滤器、过滤器 检查
热交換器 清扫
漏电断路器 动作确认
每560小时的定期检查
2-1-2-2
【94~95分钟】
概
要
SPG EJP6AC-MB-02MM-02
每3000小时的定期检查
每6000小时的定期检查
No.
对象单元 检查、添加润滑油处 检查、添加润滑油内容 参阅
1
XY工作台
X轴线性轴承 注油、涂抹润滑油
P.3-5-4
Y轴线性轴承 注油、涂抹润滑油
2
刮刀头
刮刀轴线性轴承 注油、涂抹润滑油
P.3-5-5
刮刀上下线性轴 注油、涂抹润滑油
P.3-5-1
3
识别/清洁单元
X轴线性轴承 注油、涂抹润滑油
P.3-5-3
Y轴线性轴承 注油、涂抹润滑油
4
基板定位升降机
基板边缘夹具部
线性轴承
注油、涂抹润滑油
P.3-5-2
自动宽度调整轴轴滚珠丝杠 注油、涂抹润滑油
自动宽度调整轴线性轴承 注油、涂抹润滑油
升降机部线性轴 注油、涂抹润滑油
θ轴线性轴承 注油、涂抹润滑油
θ轴连接部 注油、涂抹润滑油
5
搬送传送带
自动宽度调整轴线性轴承 注油、涂抹润滑油
P.3-5-6
自动宽度调整轴滚珠丝杠 注油、涂抹润滑油
6
温调单元(选购件) 送风机 振动、异常声音的确认
P.3-5-7
No.
対象单元 检查、添加润滑油处 检查、添加润滑油内容 参阅
1
主体部
CPU箱风扇过滤器 附着物的清扫
P.3-6-1
鼓风喷射器(选购件)过滤器 附着物的清扫
P.3-6-2
No.
対象单元 检查、添加润滑油处 检查、添加润滑油内容 参阅
1
保护盖
保护盖开闭部铰链 注油、涂抹润滑油
P.3-6-3
保护盖开闭部调节器支点 注油、涂抹润滑油
2-1-2-3
每1500小时的定期检查
概要
各周期定期检查项目／
消磨零件一览 2
维修保养篇
2-1-2
【75~85分钟】
【5~10分钟】
【5~10分钟】
SPG EJP6AC-MB-02MM-02
消磨零件一览
2-1-2-4
概
要
No.
名称 参考使用寿命 备注 参阅
1
刮刀刀刃 － －
P.4-1-1
2
基板传送皮带
3000小时
显示在消耗零件更换时间
的画面上
P.4-1-6
3
基板搬送滚轮
3000小时
请与本公司服务部门联络
显示在消耗零件更换时间
的画面上
－
4
清洁单元过滤器
3000小时
显示在消耗零件更换时间
的画面上
P.4-1-2
5
CPU板的蓄电池 － －
P.4-1-3
-1
6
NCIO板的蓄电池 － －
P.4-1-3-3
7
真空泵 (选购件) 3000小时 请与本公司服务部门联络 －
8
真空用管式过滤器芯 3000小时 －
P.4-1-4
9
LNB电池(选购件) 87600小时
请与本公司服务部门联络
显示在消耗零件更换时间
的画面上
LNB使用说明书
Page4-32
10
LNB UPS蓄电池(选购件) 52560小时
显示在消耗零件更换时间
的画面上
LNB使用说明书
Page4-33
11
温调单元吸附过滤器
(无纺布) (选购件)
－
－
P.4-1-7
12
温调单元过滤器 (网)
－
－
P.4-1-7