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Ref No. Remarks R 1 Q'ty 26-B 溶剤供給ユニット:SPG Solvent Supply Unit:SPG ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品 番 数量 R 2 パーツリスト Kit No. キット品番 Kit Name キット名称 N610140083AA Part Nam e 備 考 セク ショ ンNo . PARTS LIST Section No. R 3 PIPE 1 1 N21…
26-B
溶剤供給ユニット:SPG
Solvent Supply Unit:SPG
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610140083AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S133
( KN610140083AA-05-2 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
26-B
溶剤供給ユニット:SPG
Solvent Supply Unit:SPG
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610140083AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
PIPE
1
1 N210101770AB
PIPE
1
2 N210085785AD
TANK
1
3 N610027765AA
FILTER
1
4 N610009394AB
Process Pump Kit:SPG
1
5 N610147923AB
PUMP
1
6 N510056887AA PB1013A-01-F-X31
JOINT
1
7 N510066019AA KQ2H06-01AS
JOINT
2
8 N510001412AA C4N6X4-PT1/8-S
VALVE
1
9 N510061893AA LVA20-02-A1
JOINT
1
10 N510066523AA KQ2H06-M5A
JOINT
1
11 N510062037AA PPC6-02SUS
JOINT
1
12 N510062043AA PPL6-02SUS
JOINT
1
13 N510033699AA PPV6
JOINT
1
14 N510036675AA PPU6
NUT
2
15 XNH16CVW Hexagon nut Type3 Best class M16-6H-A2-70
TUBE
1
16 KXF0DWU3A00 PN-4-6X4 milk-white
TUBE
1
17 KXF0DWU4A00 PN-4-10X6.5 milk-white
TUBE
1
18 KXF03U6AA00 TU0604B-20
BOLT
2
19 N510017395AA
Hexagon socket head cap screw M5X16-10.9 A2J (Trivalent)
WASHER
2
20 N510018479AA
Small round-plain washer 4 10H A2J (Trivalent)
WASHER
2
21 N510018499AA
Round finish plain washer 5 10H A2J (Trivalent)
BOLT
2
22 N510017381AA
Hexagon socket head cap screw M4X8-10.9 A2J (Trivalent)
S134
--
( KN610140083AA-05-2 )
27
マスククリーニングユニット制御:SPG
Mask Cleaning Unit (H):SPG
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610142536AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S135
( KN610142536AA-00 )