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11 マスク自動位置決め部:SPG Mask Auto Positioning:SPG パーツレイアウト Kit No. キット 品番 Kit Name キット名称 N610140143AA セクションNo. PARTS LAYOUT Section No. - - O27 ( KN610140143AA-03 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
10
基板反り矯正ユニット:SPG
PCB Flattening Unit:SPG
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610140141AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
PLATE
1
1 N210174634AB
PIN
4
2 N210174635AC
BRACKET
1
3 N210142959AA
NUT-PLATE
1
4 N210142746AA
DOG
1
5 N210174636AA
SENSOR
1
6 N510053249AA EE-SX911-C2J-R 0.5M
SPRING
4
7 N510047013AA
A
C229
BOLT
2
8 N510018823AA
Hexagon socket button head screw M3X10-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
4
9 N510017746AA
Hexagon head bolt Best class M5X20-6g 4T A2J (Trivalent)
BOLT
2
10 N510017376AA
Hexagon socket head cap screw M4X6-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
2
11 N510017344AA
Hexagon socket head cap screw M4X10-10.9 A2J (Trivalent)
WASHER
2
12 N510018478AA
Small round-plain washer 3 10H A2J (Trivalent)
WASHER
4
13 N510018497AA
Round finish plain washer 4 10H A2J (Trivalent)
WASHER
2
14 N510018327AA Spring lock washer No.2 3 S A2J (Trivalent)
O26
--
( KN610140141AA-03 )
11
マスク自動位置決め部:SPG
Mask Auto Positioning:SPG
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610140143AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O27
( KN610140143AA-03 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
11
マスク自動位置決め部:SPG
Mask Auto Positioning:SPG
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610140143AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
BRACKET
1
1 N210174633AA
CYLINDER
1
2 N510051192AA CDQSBS25-50-DCM5132M
JOINT
2
3 N510066662AA KQ2L04-M5A
VALVE
1
4 N510064061AA VQZ1151-5LOZ1-X551-Q
JOINT
2
5 N510066465AA KQ2H04-00A
TUBE
1
6 KXF03PPAA00 TFU0425B-2
SWITCH:(D-M9NM:700mm)
1
7 N610153217AA
BOLT
4
8 N510017390AA
Hexagon socket head cap screw M5X12-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
4
9 N510017435AA
Hexagon socket head cap screw M6X20-10.9 A2J (Trivalent)
WASHER
4
10 N510018499AA
Round finish plain washer 5 10H A2J (Trivalent)
WASHER
4
11 N510020101AA Thick washer M6
O28
--
( KN610140143AA-03 )