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Ref No. Remarks R 1 Q'ty 25 雰囲気温調本体:MPA-14A Atmospheric Temperature Control M ain Body: M PA-14A ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品 番 数量 R 2 パーツリスト Kit No. キット品番 Kit Name キット名称 N610033431AA Part Nam e 備 考 セク ショ ンNo . PARTS LIS…
25
雰囲気温調本体:MPA-14A
Atmospheric Temperature Control Main Body: MPA-14A
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610033431AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O61
( KN610033431AA-05 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
25
雰囲気温調本体:MPA-14A
Atmospheric Temperature Control Main Body: MPA-14A
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610033431AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
TEMPERATURE-CONTROLLE
R
1
1 N510019851AD
S
MPA-14A
FLANGE
1
3 KXF072WAA00 6132-9099
DUCT
1
4 N510011235AA FD125
SCREW
4
5 N510018257AA
Cross recessed Truss head machine screw M4X10-4.8 A2J (Trivalent)
FILTER
1
6 KXF0DY67A00 PS/400 185X185X14
O62
--
( KN610033431AA-05 )
26
雰囲気温調チャンバー:SPG
Atmospheric Temperature Control Chamber:SPG
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610140165AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O63
( KN610140165AA-03 )