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Ref No. Remarks R 1 Q'ty 14 基板吸着配管共通部:SPG Board Vacuum Piping Common:SPG ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品 番 数量 R 2 パーツリスト Kit No. キット品番 Kit Name キット名称 N610140132AA Part Nam e 備 考 セク ショ ンNo . PARTS LIST Section No. R 3 PLATE …
14
基板吸着配管共通部:SPG
Board Vacuum Piping Common:SPG
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610140132AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O33
( KN610140132AA-03 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
14
基板吸着配管共通部:SPG
Board Vacuum Piping Common:SPG
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610140132AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
PLATE
1
1 N210174467AA
COVER
1
2 N210143758AA
FILTER
3
3 KXF0DWG8A00 ZFC200-08B
MANIFOLD
1
4 KXF07XJAA00 KM13-08-10-3
JOINT
1
5 N510066679AA KQ2R04-10A
SWITCH
1
6 N510050112AA ISE30A-C4L-N-MB
BOLT
2
7 N510017513AA
SSS 003 Hexagon socket button head screw M3X6-10.9 A2J (Trivalent)
JOINT
3
8 N510066675AA KQ2L08-99A
JOINT
3
9 KXF0977AA00 CPS15M-8B
JOINT
3
10 KXF09Y3AA00 CPP15-8B
JOINT
3
11 KXF0DZKRA00 KQ2P-08
TUBE
1
12 KXF0E114A00 TU0805W-20
TUBE
1
13 KXF07WCAA00 TU0425W-20
BOLT
8
14 N510017344AA
Hexagon socket head cap screw M4X10-10.9 A2J (Trivalent)
WASHER
2
15 N510018478AA
Small round-plain washer 3 10H A2J (Trivalent)
WASHER
10
16 N510018497AA
Round finish plain washer 4 10H A2J (Trivalent)
WASHER
8
17 N510018330AA Spring lock washer No.2 4 S A2J (Trivalent)
BOLT
2
18 N510017359AA
Hexagon socket head cap screw M4X25-10.9 A2J (Trivalent)
O34
--
( KN610140132AA-03 )
15
真空ポンプ制御:SPG
Vacuum Pump(H):SPG
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610142526AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O35
( KN610142526AA-00 )