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12 基板クランプ圧デジタル設定ユニット:SPG Clamp Pressure Digital Setup Unit:SPG パーツレイアウト Kit No. キット 品番 Kit Name キット名称 N610140128AA セクションNo. PARTS LAYOUT Section No. - - O29 ( KN610140128AA-04 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
11
マスク自動位置決め部:SPG
Mask Auto Positioning:SPG
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610140143AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
BRACKET
1
1 N210174633AA
CYLINDER
1
2 N510051192AA CDQSBS25-50-DCM5132M
JOINT
2
3 N510066662AA KQ2L04-M5A
VALVE
1
4 N510064061AA VQZ1151-5LOZ1-X551-Q
JOINT
2
5 N510066465AA KQ2H04-00A
TUBE
1
6 KXF03PPAA00 TFU0425B-2
SWITCH:(D-M9NM:700mm)
1
7 N610153217AA
BOLT
4
8 N510017390AA
Hexagon socket head cap screw M5X12-10.9 A2J (Trivalent)
BOLT
4
9 N510017435AA
Hexagon socket head cap screw M6X20-10.9 A2J (Trivalent)
WASHER
4
10 N510018499AA
Round finish plain washer 5 10H A2J (Trivalent)
WASHER
4
11 N510020101AA Thick washer M6
O28
--
( KN610140143AA-03 )
12
基板クランプ圧デジタル設定ユニット:SPG
Clamp Pressure Digital Setup Unit:SPG
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610140128AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O29
( KN610140128AA-04 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
12
基板クランプ圧デジタル設定ユニット:SPG
Clamp Pressure Digital Setup Unit:SPG
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610140128AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
BRACKET
1
1 N210173017AA
REGULATOR
1
2 N510063756AA ITV1030-402N-X93
SILENCER
1
3 N510064382AA AN10-01
JOINT
1
4 N510066672AA KQ2L04-02AS
JOINT
1
5 N510066673AA KQ2VD04-02AS
JOINT
1
6 N510066674AA KQ2U08-99A
JOINT
1
7 N510066660AA KQ2R04-08A
JOINT
1
8 KXF09QCAA00 KQ2P-04
TUBE
1
9 KXF03TEAA00 TU0425B-20
WASHER
4
10 N510018497AA
Round finish plain washer 4 10H A2J (Trivalent)
BOLT
4
11 N510017381AA
Hexagon socket head cap screw M4X8-10.9 A2J (Trivalent)
O30
--
( KN610140128AA-04 )