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28 マスククリーニングユニット配線:SPG Mask Cleaning U nit W iring:SPG パーツレイアウト Kit No. キット 品番 Kit Name キット名称 N610142537AA セクションNo. PARTS LAYOUT Section No. - - S137 ( KN610142537AA-04 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
27
マスククリーニングユニット制御:SPG
Mask Cleaning Unit (H):SPG
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610142536AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
Sensor Connection Board
2
1 N610096014AA PNF0A8-AA
SCREW
2
2XYN4+J8FN
Cross recessed Pan head machine screw with SW & Small round-plain was
S136
--
( KN610142536AA-00 )
28
マスククリーニングユニット配線:SPG
Mask Cleaning Unit Wiring:SPG
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610142537AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S137
( KN610142537AA-04 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
28
マスククリーニングユニット配線:SPG
Mask Cleaning Unit Wiring:SPG
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610142537AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
CABLE-SUPPORT
4
1 N210142601AA
CABLE-VEYOR
1
2 N510064057AA 2700.05.075.0-14-2605.34PZ+261X7
HOSE
1
3 N510065683AA HTR-19
TUBE
1
4 KXF03PPAA00 TFU0425B-2
TUBE
1
5 KXF03PPAA00 TFU0425B-2
TUBE
1
6 KXF03PPAA00 TFU0425B-2
S138
--
( KN610142537AA-04 )