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Ref No. Remarks R 1 Q'ty 12 基板クランプ圧デジタル設定ユニット:SPG Clamp Pressure Digital Setup Unit:SPG ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品 番 数量 R 2 パーツリスト Kit No. キット品番 Kit Name キット名称 N610140128AA Part Nam e 備 考 セク ショ ンNo . PARTS LIST Section…
12
基板クランプ圧デジタル設定ユニット:SPG
Clamp Pressure Digital Setup Unit:SPG
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610140128AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O29
( KN610140128AA-04 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
12
基板クランプ圧デジタル設定ユニット:SPG
Clamp Pressure Digital Setup Unit:SPG
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610140128AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
BRACKET
1
1 N210173017AA
REGULATOR
1
2 N510063756AA ITV1030-402N-X93
SILENCER
1
3 N510064382AA AN10-01
JOINT
1
4 N510066672AA KQ2L04-02AS
JOINT
1
5 N510066673AA KQ2VD04-02AS
JOINT
1
6 N510066674AA KQ2U08-99A
JOINT
1
7 N510066660AA KQ2R04-08A
JOINT
1
8 KXF09QCAA00 KQ2P-04
TUBE
1
9 KXF03TEAA00 TU0425B-20
WASHER
4
10 N510018497AA
Round finish plain washer 4 10H A2J (Trivalent)
BOLT
4
11 N510017381AA
Hexagon socket head cap screw M4X8-10.9 A2J (Trivalent)
O30
--
( KN610140128AA-04 )
13
真空ポンプ:SPG
Vacuum Pump:SPG
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610140135AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O31
( KN610140135AA-06 )