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QA表 NO. 2 (1/2) NO. 2 (2/2) 机 种 确 认 方法 以平台 为 基准用虚 拟标 尺 测 量端架底部的高度。 X 轴 框架平行度 :100μm以下 NO ① ② NO. 担当人 ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ 【4】-2 KD-2077 装置名称 XY装置 确 认 方法及 调 整方法(故障 处 理方法) 功能名称 X 轴 框架平行度 编 制日期 2007/12/20 质 量保 证类别 功能・安全性 / 可靠性 /…

QA表 NO. 1 (1/2) NO. 1 (2/2)
机种
确认方法
以平台为基准用直角尺进行测量。
左、右、各个垂直 :±30μm以下
左右的差 :10μm以下
NO
①
②
NO. 担当人
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【4】-1
KD-2077 装置名称 XY装置
确认方法及调整方法(故障处理方法)
功能名称
点胶头板的垂直 编制日期
2007/12/20
质量保证类别
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
质量特性(规格调整值)
功能作用(规格调整值的意义)
预想故障(应规格调整值不良而发生的故障)
对象元件
变更履历
货号
品名
有关质量特性
内容
'07.12.20
新设
日期

QA表 NO. 2 (1/2) NO. 2 (2/2)
机种
确认方法
以平台为基准用虚拟标尺测量端架底部的高度。
X轴框架平行度 :100μm以下
NO
①
②
NO. 担当人
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【4】-2
KD-2077 装置名称 XY装置
确认方法及调整方法(故障处理方法)
功能名称
X轴框架平行度 编制日期
2007/12/20
质量保证类别
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
质量特性(规格调整值)
功能作用(规格调整值的意义)
预想故障(应规格调整值不良而发生的故障)
对象元件
变更履历
货号
品名
有关质量特性
内容
'07.12.20
新设
日期

QA表 NO. 3 (1/2) NO. 3 (2/2)
机种
确认方法
以平台为基准用虚拟标尺测定钢轨基准面的高度
X线轨真直度(下) :6μm以下
NO
①
②
NO. 担当人
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【4】-3
KD-2077 装置名称 XY装置
确认方法及调整方法(故障处理方法)
功能名称
X线轨真直度(下) 编制日期
2007/12/20
质量保证类别
功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
质量特性(规格调整值)
功能作用(规格调整值的意义)
预想故障(应规格调整值不良而发生的故障)
对象元件
变更履历
货号
品名
有关质量特性
内容
'07.12.20
新设
日期