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QA表 NO. 2 (1/2) NO. 2 (2/2) 机 种 确 认 方法 以平台 为 基准用虚 拟标 尺 测 量端架底部的高度。 X 轴 框架平行度 :100μm以下 NO ① ② NO. 担当人 ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ 【4】-2 KD-2077 装置名称 XY装置 确 认 方法及 调 整方法(故障 处 理方法) 功能名称 X 轴 框架平行度 编 制日期 2007/12/20 质 量保 证类别 功能・安全性 / 可靠性 /…

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QA表 NO. 1 (1/2) NO. 1 (2/2)
方法
以平台基准用直角尺量。
左、右、各个垂直 :±30μm以下
左右的差 :10μm以下
NO
NO. 担当人
【4】-1
KD-2077 装置名称 XY装置
方法及整方法(故障理方法)
功能名称
点胶板的垂直 制日期
2007/12/20
量保证类别
 功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
量特性()
功能作用(的意
想故障(应规不良而生的故障)
象元件
更履
品名
关质量特性
内容
'07.12.20
日期
QA表 NO. 2 (1/2) NO. 2 (2/2)
方法
以平台基准用虚拟标量端架底部的高度。
X框架平行度 :100μm以下
NO
NO. 担当人
【4】-2
KD-2077 装置名称 XY装置
方法及整方法(故障理方法)
功能名称
X框架平行度 制日期
2007/12/20
量保证类别
 功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
量特性()
功能作用(的意
想故障(应规不良而生的故障)
象元件
更履
品名
关质量特性
内容
'07.12.20
日期
QA表 NO. 3 (1/2) NO. 3 (2/2)
方法
以平台基准用虚拟标钢轨基准面的高度
X线轨真直度(下) :6μm以下
NO
NO. 担当人
【4】-3
KD-2077 装置名称 XY装置
方法及整方法(故障理方法)
功能名称
X线轨真直度(下) 制日期
2007/12/20
量保证类别
 功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
量特性()
功能作用(的意
想故障(应规不良而生的故障)
象元件
更履
品名
关质量特性
内容
'07.12.20
日期