XP142E 机械手册MEC-XP142-2.1S.pdf - 第39页
4. 维修保养 MEC-XP142-2.1S 30 XP-142E 机械手册 4.1.6 真空泵用过滤器的清扫 ( 每 3000 小时 ) 要点 为了防尘在真空泵里装有过滤器 。 定期地对过滤器进行清扫、更换 ，使其能稳定地吸取元件。 方法 1. 拆下机器 后侧 (Si de2) 的 MFU。 2. 切断机器的电源。 3. 将真空配管内减压，并确认负压 计的指针指在零的位置。 4. 如下图所示，从机器后侧拆除盖 板。 警告 操作前请务必…
MEC-XP142-2.1S 4. 维修保养
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4.1.5 量规芯片元件的清扫 ( 每周 )
要点
用于吸嘴旋转中心测定、加载反馈补正等的量规芯片元件到规定的位置。由于进行定期的
清扫，就可保证稳定的测定和补正。
方法
使用柔软的毛刷 ( 照相机镜头清扫用 ) 等，对两面进行清扫。
警告
操作前请务必切断主电源。
4. 维修保养 MEC-XP142-2.1S
30 XP-142E 机械手册
4.1.6 真空泵用过滤器的清扫 ( 每 3000 小时 )
要点
为了防尘在真空泵里装有过滤器。
定期地对过滤器进行清扫、更换，使其能稳定地吸取元件。
方法
1. 拆下机器后侧 (Side2) 的 MFU。
2. 切断机器的电源。
3. 将真空配管内减压，并确认负压计的指针指在零的位置。
4. 如下图所示，从机器后侧拆除盖板。
警告
操作前请务必切断主电源。
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5. 拧松套环，取下套环和过滤器罩，拆下过滤器部件。
6. 请用压缩空气等吹去粘附在过滤器部件上的灰尘，或更换新的过滤器部件。