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SIPLACE „Head Ver ification“ Bedienungsanleitun g Ausgabe 01/2015 34 Ablauf der Messung im Detail: 1. Die Z-Achse bleibt in der o beren Position 2. Alle DP werden ref eriert, so dass sie bei 0° stehen. 3. Nun wird Segm e…

SIPLACE „Head Verification“

Bedienungsanleitung Ausgabe 01/2015

Der Mittelwert aus den drei Measure 1- Measure 3 ergibt den Wert End position Z.

Dieser Wert zeigt, ob ein Segment über den gesamten konstruktiven Verfahrbereich leichtgängig

bewegt werden kann. Der Wert End position Z sowie die drei Einzelmessungen Measure 1 –

Measure 3 müssen alle innerhalb der Toleranz liegen. Leichte Abweichungen sind normal.

In unserem Beispiel kann man sehen, dass die Measure 1 einen Wert von 30405µm ergeben hat. Die

beiden anderen Measure 2 – 3 haben jeweils einen Wert für den Verfahrbereich von 30406µm

ergeben.

Man kann diesen Unterschied auch an den Balkenlängen im Diagramm sehen.

Wenn nun eine Measure1, 2 oder 3 außerhalb der Toleranz ist, so kann man davon ausgehen, dass

die Führung dieses Segments defekt ist, da nicht wiederholbar eine Leichtgängigkeit nachgewiesen

werden konnte. Die DP (bei CP20P/A) oder die Segmentführung (bei CPP) müsste in nächster Zeit

ausgewechselt werden.

Falls alle Measure1 – Measure3 außerhalb der Toleranz sind, so kann mit Sicherheit gesagt werden,

dass die Führung schwergängig ist. Die DP (bei CP20P/A) oder die Segmentführung (bei CPP) muss

getauscht werden.

4.4.4 Deutung der Ergebnisse

Fehler bei End position Z an allen Segmenten:

1. Z-Achsen Linearführung ist defekt

  Komplette Z-Achseneinheit austauschen

Fehler bei End position Z an einzelnen Segmenten:

1. Wenn alle Measure 1 – Measure 3 außerhalb der Toleranz sind, dann ist die Linearführung des

Segments (CPP) oder der DP (CP20P/A) defekt

 CPP: Austausch der Linearführung des Segments

 CP20P/A: Austausch der DP

2. Wenn nur eine Measure1, 2 oder 3 außerhalb der Toleranz sind, so kündigt sich eine

zunehmende Schwergängigkeit der Segmentführung an.

 CPP: Austausch der Linearführung des Segments vorbereiten

 CP20P/A: Austausch der DP vorbereiten

4.5 Messung „Anti Glare Shield mounting“

Für diese Messungen werden folgende Teile benötigt:

CP20A: 20x Nozzletype 1069 03094112-01 (Vakuumpipette rot geschlossen)

4.5.1 Erklärung der Messung – Ablauf

Mit dieser Messung wird die korrekte Montage der Blendschaltringe (Anti Glare Shields) überprüft. Die

Blendschaltringe sind ein wichtiger Bestandteil der CP20A-Köpfe, da diese für eine korrekte

Betätigung der Lichtschranke Z-Unten zuständig sind.

Der Spannungswert der Lichtschranke Z-Unten wird überprüft, während das Segment in 90°-Schritten

gedreht wird. Somit bekommt man einen Überblick, ob der Blendschaltring defekt, schief oder

unsauber montiert ist.

Mithilfe der Ergebnisse dieser Messungen können letztendlich auf folgende Ursachen Rückschlüsse

gezogen werden:

1. Zustand der Lichtschranke Z-Unten

2. Montagefehler des Blendschaltringes an der DP

3. Zustand der Blendschaltringe

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Ablauf der Messung im Detail:

1. Die Z-Achse bleibt in der oberen Position

2. Alle DP werden referiert, so dass sie bei 0° stehen.

3. Nun wird Segment 1 in die Bestückposition gedreht, bleibt aber in der oberen Position.

4. Messung 0°:

Die Lichtschranke Z-Unten wird nun aktiviert und misst den Abstand zum Blendschaltring von

Segment 1. Die Lichtschranke Z-Unten gibt einen analogen Spannungswert für den Abstand

aus. Dieser Wert wird als Measure 1 [mV] bezeichnet.

Dieser Wert bei 0° wird auch als Referenzwert benutzt, um die generelle Funktionalität der

Lichtschranke zu überprüfen. Dieser Referenzwert wird mit einem theoretischen Wert in den

MA-Daten verglichen.

5. Drehung Segment 1 auf 90°

6. Messung 90°:

Die Lichtschranke Z-Unten wird nun aktiviert und misst den Abstand zum Blendschaltring von

Segment 1. Die Lichtschranke Z-Unten gibt einen analogen Spannungswert für den Abstand

aus. Dieser Wert wird als Measure 2 [mV] bezeichnet.

7. Drehung Segment 1 auf 180°

8. Messung 180°:

Die Lichtschranke Z-Unten wird nun aktiviert und misst den Abstand zum Blendschaltring von

Segment 1. Die Lichtschranke Z-Unten gibt einen analogen Spannungswert für den Abstand

aus. Dieser Wert wird als Measure 3 [mV] bezeichnet.

9. Drehung Segment 1 auf 270°

10. Messung 270°:

Die Lichtschranke Z-Unten wird nun aktiviert und misst den Abstand zum Blendschaltring von

Segment 1. Die Lichtschranke Z-Unten gibt einen analogen Spannungswert für den Abstand

aus. Dieser Wert wird als Measure 4 [mV] bezeichnet.

11. Die gesamte Rotation (Rundlauf) des Blendschaltringes wird mit dem Wert Mounting variation

[µm] bezeichnet.

Dieser Wert wird errechnet aus der dem minimalen und maximalen Ergebnis der Measure 1 –

Measure 4. Die Differenz aus dem kleinsten und größten analogen Spannungswert ergibt einen

Wert, der die Aussermittigkeit des Blendschaltringes beschreibt und der Blendschaltring um die

Mittelachse der DP rotiert (taumelt).

Ist dieser Wert größer als eine definierte Toleranz, so ist der Blendschaltring nicht korrekt

montiert oder defekt.

12. Nun werden die Messungen 4.-11. für alle weiteren Segmente durchgeführt.

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4.5.2 Erklärung des Messergebnisses im Menü Progress

Nach Beendigung der Messung erscheint im Menü Progress folgendes Ergebnis:

Abbildung 22: Ergebnis Anti Glare Shield Mounting

Legende:

1. Gemessenes Segment

2. Errechneter Wert Mounting Variation in µm

 Dieser Wert beschreibt die Aussermittigkeit (Rotation) des Blendschaltringes zur

Mittenachse des Segments.

Dieser Wert errechnet sich aus der Differenz zwischen dem kleinsten und größten analogen

Spannungswert der Messungen Measure1-Measure4.

3. Ergebnis-Anzeige (OK  grüner Hacken / NOK  rotes X)

4. Hier ist der zulässige Grenzwert für die Aussermittigkeit (Rotation) des Blendschaltringes

angegeben. Der Wert Mounting Variation (2) und das Ergebnis (3) beziehen sich auf diesen

Grenzwert.

5. Measure1 – Measure4 geben die analogen Spannungswerte der Lichtschrankenmessung an,

die den Abstand zwischen Lichtschranke Z-Unten und der Kante des Blendschaltringes bei 0°,

90°, 180° und 270° verdeutlichen.

6. Sensor value (min / max) in µm geben die plausibel erlaubten Grenzwerte für die Messung

Measure1 – Measure4 an.

7. In diesem Diagramm werden die Werte der Segmente für Mounting variation veranschaulicht.

Blaue Linie  Mounting deviation in µm der einzelnen Segmente

Rote Grenzlinien  Grenzwerte Min und Max (in unserem Fall 0..400mV)

Mit dem Button kann das Diagramm vergrößert werden.

8. In diesem Diagramm werden die Werte der Segmente für Measure1 – Measure4

veranschaulicht.

Blaue Balken  jeweils ein Balken für Measure1(0°) – Measure4 (270°)

 Wenn die Lichtschranke zuverlässig arbeitet, sollten die Balken im Idealfall gleich hoch

(100% Rundlauf) oder Konvex/Konkav (außermittig) dargestellt werden

Rote Grenzlinien  Grenzwerte Min und Max (in unserem Fall

5000..6900mV)

Mit dem Button kann das Diagramm vergrößert werden.