M4serviceManual_j.pdf - 第25页
2 ．点検 2-1 2 点検
1．据付
1-1
6
搬出シーケンス（SMEMA規格対応仕様）
① 搬出可能状態で後工程装置への搬送要求(BOARD AVAILABLE)出力を ON しま
す。
② 後工程装置への搬送要求(BOARD AVAILABLE)出力および後工程装置からの搬
送許可(MACHINE NOT READY)入力が ON すると搬送コンベアが ON します。
③ 基板が出口センサに到着し ON した後、基板が通過し OFF すると後工程装置への
搬送要求(BOARD AVAILABLE)出力および搬送コンベアを OFF します。
④ 搬送コンベア ON 後、10 秒以内に後工程装置からの搬送許可(MACHINE NOT
READY)入力が OFF しない場合は搬送エラーを出力します。
⑤ エラー後の Start ボタン押下によりエラー前の動作を継続します。
2．点検
2-1
2 点検
2．点検
2-2
毎日の点検
目視点検
マウンタの電源(Main スイッチと Power スイッチ)を投入する前に行なってください。
【NOTE】 供給元電源とエアコンプレッサはオン状態で行なってください。
項目 内容
屋内温度と湿度 ・温度と湿度の確認をする。
・温度 精度保証 23±2℃
機能保証 ＋5℃～＋40 度
(24 時間を超える平均気温が 35℃以下の範囲とする)
・湿度 45%～60%(結露無きこと)
室内の環境 ・塵、ほこりが多い場合はエアーフィルタの汚れを点検する。
・腐食性ガスによる錆が目立つときは、排気口、リフロー炉、
洗浄器を点検する。
供給エアー ・エアーレギュレータの圧力は 0.5MPa（5.1 ㎏ｆ/c ㎡）である
か確認する。
・ドレインに水があれば抜きとる。水があればドライエアの温
度調整を行ない水のたまりを防ぐ。油分が含まれていれば
原因を調査する。
部品捨てトイ (前・後) ・捨てトイの向きが正しいことを確認する。
・捨てトイの横端面がテープガイド (ステーション番号のシー
ルが貼ってあるプレート) の端面と合っていることを確認す
る。
・落下した電子部品等により、捨てトイが浮き上がっていない
ことを確認する。
コンベア ・装置間でコンベアの幅が合っていることを確認する。
・コンベア内に物がないことを確認する。
ヘッド移動範囲 ・ヘッド移動範囲内に不要物等が置かれていない事を確認
する。
スキャンカメラ ・スキャンカメラのミラーとレンズに傷や汚れ等のないことを確
認する。汚れている場合は清掃する。
ミラーに結露、ほこりが付着すると照明光の反射率が低下
するため照明データを明るく変更することになり、かえって
認識率を低下させることになります。これを防ぐために日々
の清掃を心掛けてください。
)
3.機械部、カメラ
固定カメラ
(M4e/M4s にオプション
設定)
・カメラ上のハーフミラー又はレンズ、レンズフィルタに部品
等の落下物や汚れのないことを確認する。必要に応じて清
掃を行なう。
)
3.機械部、カメラ
ANC ・ANC タワーの内外に不要物のないことを確認する。
ノズル ・汚れや変形等があれば手入れや交換を行なう。
)
3.機械部、ノズル