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2 .点検 2-6 ノズルホルダ ・ノズルのエスケープが円滑なことを確認する。 ) 3.機械部、ヘッド 固定カメラ ・ハーフミラー、レンズ(レンズフィルタ)を清掃する。 ) 3 機械部、カメラ 基板カメラ ・レンズを清掃する。 ) 3 機械部、カメラ スキャンカメラ ・レンズを清掃する。 ・カメラ前面にあるミラーを清掃する。 ) 3.機械部、カメラ カメラ照明 ・動作および明るさの確認をする。 操作スイッチ ・DI/DO 画面にて正常に…

2.点検
2-5
月ごとの点検
月に 1 回、以下の点検を行なってください
項目 内容
CRT ・画面が汚れていればアルコールで清掃する。
フロッピディスクドライブ ・フロッピディスクドライブのヘッドの清掃を市販のクリーニン
グディスクを使って行なう。
X-Y テーブル ・X、Y 軸を移動させてボールネジ、リニアボールガイドからの
異音がないことを確認する。
ケーブル ・ケーブルベア、ケーブル固定用のビスにゆるみがないことを
確認する。
・ケーブルベア内の付設ケーブルのフォームの乱れ、かすり
キズ等がないことを確認する。
コネクタ ・各コネクタにゆるみがないことを確認する。
エアーホース ・各エアーホースのフォームおよび固定部分、ジョイント部分
に異常がないことを確認する。
・エアー漏れがないかチェックをする。
X-Y モータ ・X、Y 軸モータの温度(ケースを手で触ってみる)が異常に
熱くないことを確認する。
θモータ ・回転させてみて伝達ベルト、歯車にキズ等がないこと、干渉
する部分がないこと、保持トルク(励磁トルク)が十分である
ことを確認する。
Zモータ ・ヘッドをアップ・ダウンさせて、動きがスムーズなことを確認
する。
スキャン軸モータ ・スキャンカメラを移動させ、その動きがスムーズなことを確認
する。
吸着オン・オフ ・各々ヘッドについて吸着圧の確認をする。適正値でないと
きは、ノズルシャフトの清掃を行なう。フィルタ(バキューム
エジェクタ)が汚れていれば交換する。
コンベア ・コンベアの動作を確認する。ベルトのテンションを確認す
る。ベルトのキズ、摩耗を確認する。ベルト搬送経路にチッ
プ部品など異物の混入がないことを確認する。コンベアの
幅調整(広狭限度まで)の動きと、出入り口の各点での平行
度および基板の前後工程間の乗り移りを確認する。
ストッパ ・動作が正常であるかを確認する。異音がしないかを確認す
る。目視によりチップ部品などが付着していないかを確認す
る。
メインクランプ ・摩耗、キズ等がないかを確認する。
サイドクランプ 〃
リアクランプ 〃
バッファストッパ 〃
ANC 〃

2.点検
2-6
ノズルホルダ ・ノズルのエスケープが円滑なことを確認する。
)
3.機械部、ヘッド
固定カメラ ・ハーフミラー、レンズ(レンズフィルタ)を清掃する。
)
3 機械部、カメラ
基板カメラ
・レンズを清掃する。
)
3 機械部、カメラ
スキャンカメラ ・レンズを清掃する。
・カメラ前面にあるミラーを清掃する。
)
3.機械部、カメラ
カメラ照明 ・動作および明るさの確認をする。
操作スイッチ ・DI/DO 画面にて正常に動作することを確認する。特にふだ
ん使用しない非常停止スイッチを確認する。
シグナルタワー ・動作確認する。
ブザー(フリッカ音) ・動作確認する。
ブザー(ホロホロ音) ・動作確認する。
固定・基板・スキャンカメ
ラ
・画像テスト結果を確認する。
吸着点座標の確認 ・フィーダバンクの状態を確認する。
フィーダバンク電極部 ・電極部分に汚れ、傷等がないかを確認する。
)
4.電気部、フィーダ/フィーダバンクの電極部
装着動作の認識 ・基板の所定のところに部品が装着されていることをプログラ
ムで確認する。

3.機械部
3-1
3 機械部