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2 ．点検 2-5 月ごとの点検月に 1 回、以下の点検を行なってください項目内容 CRT ・画面が汚れていればアルコールで清掃する。フロッピディスクドライブ・フロッピディスクドライブのヘッドの清掃を市販のクリーニングディスクを使って行なう。 X－Y テーブル・X、Y 軸を移動させてボールネジ、リニアボールガイドからの異音がないことを確認する。ケーブル・ケーブルベア、ケーブル固定用のビスにゆるみがないことを確認する…

2．点検

2-4

手動動作による点検

マウンタの電源（Main スイッチと Power スイッチ）を投入後に行なってください。マウンタ

の状態および運転動作が正常でない場合、エラーメッセージが表示されます。

項目内容

Power スイッチ

・システムを起動し、メニュー画面の表示が正常であるかを確

認する。

Servo スイッチ

・押したら点灯することを確認する。点灯しなければシステム

を終了し、再度立ち上げてみる。

EMERGENCY STOP

非常停止スイッチ

・機能の確認を行なう。

原点復帰

・原点取得動作が正常であるか確認する。

R 軸（θ軸）位置

（下記【NOTE】参照）

・原点取得後、各ヘッドの R 軸の向きが正常である事を確認

する。

)

3.機械部 /注油/ Z 軸スプラインシャフトのグリス

塗布箇所

ジョグ動作

・X、Y、Z、θ、S 軸を移動させる。座標表示と動作時に異音

がないことを確認する。

吸着動作

・吸着力の確認を行なう。

コンベア

・基板を流して動作を確認する。

ストッパ

・動作確認を行なう。

クランプ

・動作確認を行なう。

ANC

・動作確認を行なう。

ヘッド

・動作確認を行なう。

DI/DO チェック

・動作確認を行なう。

エアー圧力

・ヘッド詰り/ノズル詰り/ソレノイドバルブの確認を行なう。

)

3.機械部ヘッド詰り/ノズル詰りと、ソレノイドバルブ故

障の確認

【NOTE】電源 OFF またはサーボ OFF の状態で、R 軸（θ軸）を手で回転させると、その後の原点

取得で R 軸の原点位置が 180 度反転する可能性があります。通常の使用においてこの

問題は発生しませんが、何らかの理由で R 軸を手で回転させてしまった場合は、必ず R

軸原点位置の確認をしてください。なお M4e/M4s ではこの問題は発生しません。

原点位置確認穴

R 軸原点位置点検方法

R 軸原点復帰後、マウンタ正面より

ヘッドのノズルホルダを見て、原点

位置確認穴が正面を向いていれ

ば正常です。

ノズルホルダ

2．点検

2-5

月ごとの点検

月に 1 回、以下の点検を行なってください

項目内容

CRT ・画面が汚れていればアルコールで清掃する。

フロッピディスクドライブ・フロッピディスクドライブのヘッドの清掃を市販のクリーニン

グディスクを使って行なう。

X－Y テーブル・X、Y 軸を移動させてボールネジ、リニアボールガイドからの

異音がないことを確認する。

ケーブル・ケーブルベア、ケーブル固定用のビスにゆるみがないことを

確認する。

・ケーブルベア内の付設ケーブルのフォームの乱れ、かすり

キズ等がないことを確認する。

コネクタ・各コネクタにゆるみがないことを確認する。

エアーホース・各エアーホースのフォームおよび固定部分、ジョイント部分

に異常がないことを確認する。

・エアー漏れがないかチェックをする。

X-Y モータ・X、Y 軸モータの温度（ケースを手で触ってみる）が異常に

熱くないことを確認する。

θモータ・回転させてみて伝達ベルト、歯車にキズ等がないこと、干渉

する部分がないこと、保持トルク（励磁トルク）が十分である

ことを確認する。

Zモータ・ヘッドをアップ・ダウンさせて、動きがスムーズなことを確認

する。

スキャン軸モータ・スキャンカメラを移動させ、その動きがスムーズなことを確認

する。

吸着オン・オフ・各々ヘッドについて吸着圧の確認をする。適正値でないと

きは、ノズルシャフトの清掃を行なう。フィルタ（バキューム

エジェクタ）が汚れていれば交換する。

コンベア・コンベアの動作を確認する。ベルトのテンションを確認す

る。ベルトのキズ、摩耗を確認する。ベルト搬送経路にチッ

プ部品など異物の混入がないことを確認する。コンベアの

幅調整（広狭限度まで）の動きと、出入り口の各点での平行

度および基板の前後工程間の乗り移りを確認する。

ストッパ・動作が正常であるかを確認する。異音がしないかを確認す

る。目視によりチップ部品などが付着していないかを確認す

る。

メインクランプ・摩耗、キズ等がないかを確認する。

サイドクランプ〃

リアクランプ〃

バッファストッパ〃

ANC 〃

2．点検

2-6

ノズルホルダ・ノズルのエスケープが円滑なことを確認する。

)

3.機械部、ヘッド

固定カメラ・ハーフミラー、レンズ（レンズフィルタ）を清掃する。

)

3 機械部、カメラ

基板カメラ

・レンズを清掃する。

)

3 機械部、カメラ

スキャンカメラ・レンズを清掃する。

・カメラ前面にあるミラーを清掃する。

)

3.機械部、カメラ

カメラ照明・動作および明るさの確認をする。

操作スイッチ・DI/DO 画面にて正常に動作することを確認する。特にふだ

ん使用しない非常停止スイッチを確認する。

シグナルタワー・動作確認する。

ブザー(フリッカ音) ・動作確認する。

ブザー(ホロホロ音) ・動作確認する。

固定・基板・スキャンカメ

ラ

・画像テスト結果を確認する。

吸着点座標の確認・フィーダバンクの状態を確認する。

フィーダバンク電極部・電極部分に汚れ、傷等がないかを確認する。

)

4.電気部、フィーダ/フィーダバンクの電極部

装着動作の認識・基板の所定のところに部品が装着されていることをプログラ

ムで確認する。