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3 ．機械部 3-1 3 機械部
2．点検
2-6
ノズルホルダ ・ノズルのエスケープが円滑なことを確認する。
)
3.機械部、ヘッド
固定カメラ ・ハーフミラー、レンズ（レンズフィルタ）を清掃する。
)
3 機械部、カメラ
基板カメラ
・レンズを清掃する。
)
3 機械部、カメラ
スキャンカメラ ・レンズを清掃する。
・カメラ前面にあるミラーを清掃する。
)
3.機械部、カメラ
カメラ照明 ・動作および明るさの確認をする。
操作スイッチ ・DI/DO 画面にて正常に動作することを確認する。特にふだ
ん使用しない非常停止スイッチを確認する。
シグナルタワー ・動作確認する。
ブザー(フリッカ音) ・動作確認する。
ブザー(ホロホロ音) ・動作確認する。
固定・基板・スキャンカメ
ラ
・画像テスト結果を確認する。
吸着点座標の確認 ・フィーダバンクの状態を確認する。
フィーダバンク電極部 ・電極部分に汚れ、傷等がないかを確認する。
)
4.電気部、フィーダ/フィーダバンクの電極部
装着動作の認識 ・基板の所定のところに部品が装着されていることをプログラ
ムで確認する。
3．機械部
3-1
3 機械部
3．機械部
3-2
ヘッドカバー部
■ヘッドカバーの着脱
ヘッド周辺部のメンテナンスを実施する場合、ヘッド部のカバーを取り外します。以下に
上部/下部ヘッドカバーの取り外し/取り付け手順を説明します。
以下、M4a の写真で説明を進めますが、M4e/M4s も手順は同じです。
【NOTE】 取り外し作業は必ずマウンタの主電源を切ってから行なってください。また安全の為作業
用手袋の着用をお勧めいたします。
【手順】 上部ヘッドカバーの取り外し
① マニホールド上部のジョイント部からエアーチューブを外します。
② 外したエアーチューブを上に上げ、上部カバーを固定しているプラスチックスクリュー4
本を取り外します。
プラスチックスクリュー
４本を外します。
上部ヘッドカバー