TCM-X200 (4).pdf - 第254页
( 1 ) ( 1 ) ( 1 ) ( 1 ) ( 1 ) “ 照相机补正值 照相机补正值 照相机补正值 照相机补正值 照相机补正值 ” Tab Tab Tab Tab Tab • • • • • 页面显示 页面显示 页面显示 页面显示 页面显示 单击 “ 照相机补正值 ” 选项卡中的 [ 照相机补正值 ]Tab ,显示如下 选项卡。 Fig.3E35 Fig.3E35 Fig.3E35 Fig.3E35 Fig.3E35 “ 照相机补…

3.2.63.2.6
3.2.63.2.6
3.2.6 “
照相机补正值照相机补正值
照相机补正值照相机补正值
照相机补正值 ”
TabTab
TabTab
Tab
“ 照相机补正值 ” 选项卡由[ 照相机补正值]Tab、[ 各吸嘴照相机 1
辉度 / 亮度]Tab、[ 各吸嘴照相机 2 辉度 / 亮度]Tab 组成。
••
••
•
页面显示页面显示
页面显示页面显示
页面显示
单击 “ 补正值数据 ” 选项卡中的[ 照相机补正值]Tab,显示如下选
项卡。
••
••
•
页面构成页面构成
页面构成页面构成
页面构成
* 1* 1
* 1* 1
* 1
[[
[[
[
照相机补正值照相机补正值
照相机补正值照相机补正值
照相机补正值
]Tab]Tab
]Tab]Tab
]Tab
显示 “ 照相机补正值 ” 选项卡。
*2*2
*2*2
*2
[[
[[
[
各吸嘴各吸嘴
各吸嘴各吸嘴
各吸嘴
11
11
1
辉度辉度
辉度辉度
辉度
//
//
/
亮度亮度
亮度亮度
亮度
]Tab]Tab
]Tab]Tab
]Tab
显示 “ 各吸嘴照相机 1 辉度 / 亮度 ” 选项卡。
*3*3
*3*3
*3
[[
[[
[
各吸嘴各吸嘴
各吸嘴各吸嘴
各吸嘴
22
22
2
辉度辉度
辉度辉度
辉度
//
//
/
亮度亮度
亮度亮度
亮度
]Tab]Tab
]Tab]Tab
]Tab
显示 “ 各吸嘴 2 辉度 / 亮度 ” 选项卡。
Fig.3E34Fig.3E34
Fig.3E34Fig.3E34
Fig.3E34
“
照相机补正值照相机补正值
照相机补正值照相机补正值
照相机补正值 ”
选项卡选项卡
选项卡选项卡
选项卡
0308-001 5-36
3.23.2
3.23.2
3.2“
补正值数据补正值数据
补正值数据补正值数据
补正值数据 ”
TabTab
TabTab
Tab
* 1* 1
* 1* 1
* 1
*2*2
*2*2
*2
*3*3
*3*3
*3

( 1 )( 1 )
( 1 )( 1 )
( 1 ) “
照相机补正值照相机补正值
照相机补正值照相机补正值
照相机补正值 ”
TabTab
TabTab
Tab
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••
•
页面显示页面显示
页面显示页面显示
页面显示
单击 “ 照相机补正值 ” 选项卡中的[ 照相机补正值]Tab,显示如下
选项卡。
Fig.3E35Fig.3E35
Fig.3E35Fig.3E35
Fig.3E35
“
照相机补正值照相机补正值
照相机补正值照相机补正值
照相机补正值 ”
选项卡选项卡
选项卡选项卡
选项卡
( 1 )( 1 )
( 1 )( 1 )
( 1 )
Fig.3E36Fig.3E36
Fig.3E36Fig.3E36
Fig.3E36
“
照相机补正值照相机补正值
照相机补正值照相机补正值
照相机补正值 ”
选项卡选项卡
选项卡选项卡
选项卡
(2)(2)
(2)(2)
(2)
0308-001 5-37
3.23.2
3.23.2
3.2“
补正值数据补正值数据
补正值数据补正值数据
补正值数据 ”
TabTab
TabTab
Tab
*4*4
*4*4
*4
*3*3
*3*3
*3
* 1* 1
* 1* 1
* 1
*2*2
*2*2
*2
*7*7
*7*7
*7
*6*6
*6*6
*6
*5*5
*5*5
*5

Fig.3E37 Fig.3E37
Fig.3E37 Fig.3E37
Fig.3E37
“
照相机补正值照相机补正值
照相机补正值照相机补正值
照相机补正值 ”
选项卡选项卡
选项卡选项卡
选项卡
(3)(3)
(3)(3)
(3)
*3*3
*3*3
*3
照相机照相机
照相机照相机
照相机
11
11
1
角度角度
角度角度
角度
[[
[[
[
°°
°°
°
]]
]]
]
XY 工作台坐标系和照相机 1 ( 元件认识照相机高倍) 扫描坐标
的角度差补正值。
照相机扫描坐标线对 XY 工作台系的错位方向为逆时针
时,设为 “+ ”。
••
••
•
页面构成页面构成
页面构成页面构成
页面构成
* 1* 1
* 1* 1
* 1
照相机照相机
照相机照相机
照相机
1 -1 -
1 -1 -
1 -
照相机照相机
照相机照相机
照相机
22
22
2
X(X(
X(X(
X(
横横
横横
横
)[mm])[mm]
)[mm])[mm]
)[mm]
、、
、、
、
Y(Y(
Y(Y(
Y(
竖竖
竖竖
竖
)[mm])[mm]
)[mm])[mm]
)[mm]
为了补正照相机 1 ( 元件认识照相机高倍) 中心到照相机 2(元
件认识照相机低倍) 中心的位置关系而设定的 XY 补正值。
照相机 1 扫描坐标轴换算的照相机 2 中心坐标和照相机 1
中心的位置错位在照相机 1 扫描坐标系设定。
*2*2
*2*2
*2
照相机照相机
照相机照相机
照相机
11
11
1
倍率倍率
倍率倍率
倍率
X(X(
X(X(
X(
横横
横横
横
)[0.01)[0.01
)[0.01)[0.01
)[0.01
µµ
µµ
µ
m/pixel]m/pixel]
m/pixel]m/pixel]
m/pixel]
、、
、、
、
倍率倍率
倍率倍率
倍率
Y(Y(
Y(Y(
Y(
竖竖
竖竖
竖
)[0.01)[0.01
)[0.01)[0.01
)[0.01
µµ
µµ
µ
m/pixel]m/pixel]
m/pixel]m/pixel]
m/pixel]
在设定照相机 1 ( 元件认识照相机高倍) 倍率的数据中,设定 1
象素为多少 µm 。
设定 X 方向和 Y 方向。
0308-001 5-38
3.23.2
3.23.2
3.2“
补正值数据补正值数据
补正值数据补正值数据
补正值数据 ”
TabTab
TabTab
Tab
Note
Note
* 1 0*1 0
* 1 0*1 0
* 1 0
*8*8
*8*8
*8
*9*9
*9*9
*9
* 1 3*1 3
* 1 3*1 3
* 1 3
* 11* 11
* 11* 11
* 11
* 1 2*1 2
* 1 2*1 2
* 1 2