3732445-5G_VT-S500_MaintenanceManual(C).pdf - 第36页
第 2 章 装置 规 格 2-10 2.4 上下游 I/F ・ 上 下游 Ｉ／Ｆ 适用于检查及 路径模式 时 。 ・ 上 下游 Ｉ／Ｆ 信号用于检查装置与上下游装置间基板的交 接时序及检查结果的传递。 2.4.1 信号时序 z 时序图 ( 标准模式 ) （1）搬入方法（上游装置搬入基板 ） 基板检查装置处于可以搬入基板的状 态时（从发出检查指令到搬入口 传感器通过(传感器关 闭)） ， 向上游输出READY信号。 （开始输出READY信…
2.2 检查对象基板
2-9
2.3 检查数据
本装置的数据进行说明。
z 检查程序
最大检查元件数 10,000 元件／基板
最大单板数 300 单板
第 2 章 装置规格
2-10
2.4 上下游 I/F
・ 上下游Ｉ／Ｆ适用于检查及路径模式时。
・ 上下游Ｉ／Ｆ信号用于检查装置与上下游装置间基板的交接时序及检查结果的传递。
2.4.1 信号时序
z 时序图(标准模式)
（1）搬入方法（上游装置搬入基板）
基板检查装置处于可以搬入基板的状态时（从发出检查指令到搬入口传感器通过(传感器关
闭)），向上游输出READY信号。（开始输出READY信号的同时，传送带开始运转、直至到位传感
器ON。）
检查装置处于不可搬入基板的状态时（可搬入基板状态之外的状态），向上游输出 BUSY 信号（READY
信号 OFF）。
（2）搬出方法（搬出基板至下游装置）
基板检查装置处于可以搬出基板的状态时，确认下游的READY信号后再开始搬出。
输送机上没有基板、下游确认已经接收到基板后，搬出动作完成。
※标准模式情况下，判定为良品基板时输出结果 A、判定为不良品基板时输出结果 B。
READY
BUSY
下游 READY
(下游装置输出的信号)
ON
OFF
传送带开始运转
传送带停止
搬出结束
结果 A 或是结果 B 的
输出信号※
ON
OFF
ON
OFF
检查结束
READY
BUSY
上游 READY
( 输出给上游
装置的信号)
ON
OFF
搬入口传感器通过
传送带
运转
停止
到位传感器
ON
下游装置_基板接收信号
2.4 上下游 I/F
2-11
z
时序图(SMEMA 模式)
（1）基板搬入时序图（上游装置搬入基板）
上游装置持有基板，当该装置接收到可以搬出基板信号（上游输出的准备完成信号）后、且装
置本身处于可以接收基板的状态（从发出检查指令到搬入口传感器通过(传感器关闭)）时、向
上游输出READY信号。（开始输出READY信号的同时，传送带开始运转、直至到位传感器ON。）
传送带根据上游输出的准备完成信号进行运转。
当该装置处于不能接收基板的状态时（可以接收基板状态之外的状态），READY 信号将 OFF。
（2）基板搬出时序图（搬出基板至下游装置）
该装置处于可以搬出基板状态时，输出检查结果信号（良品基板/不良品基板）。当下游装
置接收到检查结果信号后、会输出READY信号给该装置，该装置对READY信号进行确认并
开始搬出基板。
输送机上没有基板后、确认下游 READY 信号 OFF、且检查结果信号 OFF 后，传送带将停止运转（基
板搬出完成）。
※SMEMA 模式情况下，判定为良品基板时输出结果 A、判定为不良品基板时输出结果 A 与结果 B。
READY
搬入口传感器通过
BUSY
OFF
ON
运转
停止
ON
OFF
到位传感器 ON
上游 READY
( 输出给上游装置的
READY 信号)
传送带
上游 END（从上游装置输
入的“上游准备完成”信
号
）
BUSY
OFF
ON
下游 READY
( 从下游装置输入的
“READY”信号)
检查结果信号ＯＮ
(开始搬出基板)
OFF
ON
输出结果 A 或结果 B 信号※
READY
OFF
ON
输送机运转