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3 ．機械部 3-1 3 機械部
2.点検
2-6
ストッパ ・動作が正常であるかを確認する。
異音がしないかを確認する。
目視によりチップ部品などが付着していないかを確認する。
メインクランプ ・摩耗、キズ等がないかを確認する。
サイドクランプ 〃
リアクランプ 〃
バッファストッパ 〃
ANC 〃
ノズルホルダ ・ノズルのエスケープが円滑なことを確認する。
・板バネに傷等がないかを確認する。
)
3.機械部、ヘッド
固定カメラ ・レンズ（レンズフィルタ）を清掃する。
)
3 機械部、カメラ
基板カメラ
・レンズを清掃する。
)
3 機械部、カメラ
スキャンカメラ ・レンズフィルタを清掃する。
・カメラ前面にあるミラーを清掃する。
)
3.機械部、カメラ
カメラ照明 ・動作および明るさの確認をする。
操作スイッチ ・DI/DO 画面にて正常に動作することを確認する。
特にふだん使用しない非常停止スイッチを確認する。
シグナルタワー ・動作確認する。
ブザー(‘ピー’音連続) ・動作確認する。
ブザー(‘ピー’音断続) ・動作確認する。
固定・基板・スキャンカメラ ・画像テスト結果を確認する。
吸着点座標の確認 ・フィーダバンクの状態を確認する。
フィーダバンク電極部
・電極部分に汚れ、傷等がないかを確認する。
)
4.電気部、フィーダ/フィーダバンクの電極部
装着動作の認識 ・基板の所定のところに部品が装着されていることをプログラ
ムで確認する。
3．機械部
3-1
3 機械部
3．機械部
3-2
ヘッド マニホールド部
バキュームジェネレータ（6 個）
サイレンサエレメント（6 個）
エアーフィルタ Assy（6 個）
フィルタエレメント（6 個）
ソレノイドバルブ（12 個）