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6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018 136
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 6 Optionen
Ausgabe 02/2018 6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander)
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6.3.6.4 Unterschiede beim Umbau von 12" auf 8
Die Sensoren von der Waferaufnahme müssen demontiert und auf die 8" Expansionsbleche mon-
tiert werden. Siehe Siehe “Wafer-Aufnahme - 8" Hubring ausgebaut” auf Seite 128.
An der Klemmung muss der Klotz demontiert werden und anstelle der Klemmhebel eingehängt
werden. Siehe Siehe “Wafer-Aufnahme - Klemmung lösen” auf Seite 126.
6 Optionen Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander) Ausgabe 02/2018
136
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 7 Instandhaltung
Ausgabe 02/2018
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7 Instandhaltung
Sehen Sie dazu die Instandhaltungsanleitung SIPLACE Wafer System, deutsch [00195962-xx],
englisch [00195963-xx]