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2 Betriebssicherheit Betrie bsanlei tung SIPLACE Wafer System (SWS) 2.2 Warnschilder am SIPLACE Wafer System Ausgabe 02/2018 42 2.2.2.4 W arnschild W210 2 Pos. W210 in Abb. 2.2 - 2 , Seite 40 , Artikel-Nr . 03009350-01 (…
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 2 Betriebssicherheit
Ausgabe 02/2018 2.2 Warnschilder am SIPLACE Wafer System
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2.2.2 Warnschilder
2.2.2.1 Warnschild W201
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Pos. W201 in Abb. 2.2 - 1, Seite 39 und Abb. 2.2 - 2, Seite 40, Artikel-Nr. 03009338-01 (Anzahl
pro SWS: 2)
2.2.2.2 Warnschild W204
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Pos. W204 in Abb. 2.2 - 1, Seite 39 und Abb. 2.2 - 2, Seite 40, Artikel-Nr. 03009343-01 (Anzahl
pro SWS: 8)
2.2.2.3 Warnschild W206
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Pos. W206 in Abb. 2.2 - 2, Seite 40, Artikel-Nr. 03009345-01 (Anzahl pro SWS: 1)
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SICHERER BETRIEB DER MASCHINE
Voraussetzung für den sicheren Betrieb der Maschine ist die
Kenntnis und Einhaltung der Betriebsanleitung und der Sicher-
heitshinweise.
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QUETSCHGEFAHR!
Eingreifen kann zu Verletzungen an Armen und Händen führen.
Nicht in die laufende Maschine greifen!
GEFÄHRLICHE SPANNUNGEN!
Gekennzeichnete Teile stehen auch bei ausgeschaltetem Haupt-
schalter und gezogenem Netzstecker unter Netzspannung.
Vor Servicearbeiten die Maschine vom Netz trennen.
NAFTA-Region: RISK OF ELECTRIC SHOCK OR BURN!
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2.2 Warnschilder am SIPLACE Wafer System Ausgabe 02/2018
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2.2.2.4 Warnschild W210
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Pos. W210 in Abb. 2.2 - 2, Seite 40, Artikel-Nr. 03009350-01 (Anzahl pro SWS: 1)
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Pos. W209 in Abb. 2.2 - 2, Seite 40, Artikel-Nr. 03009349-01 (Anzahl pro SWS:1)
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Warnschild am NOT-HALT-Taster
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Für die Länder Australien, Kanada, Mexiko und
USA wird statt des gelben Rings das Warn-
schild W209 an den NOT-HALT-Tastern ge-
klebt.
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2.2.3 Warnschild am SIPLACE SWS Wafer Stretcher
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Abb. 2.2 - 3 Waferaufnahme mit SIPLACE SWS Wafer Stretcher
VORSICHT
Vebrennungsgefahr durch hohe Temperaturen!
Die Heizung kann Temperaturen bis zu 60°C erreichen.
Fassen Sie nicht in den Bereich des Gebläses.
Vorsicht beim Berühren der Waferaufnahme.
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