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Stichwortverzeichnis Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) Ausgabe 02/2018 142
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) Stichwortverzeichnis
Ausgabe 02/2018
141
SR
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .33
Statische Aufladung
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .61
SWS
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .33
T
Tastatur
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102, 103
Tätigkeiten zum Schichtwechsel
. . . . . . . . . . . .100
Technische Daten
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .63
Temperaturbereich
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .64
Toolaufnahme
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .72
Trafo
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .69
Transportverpackung
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .85
Abmessungen
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .85
U
Übersicht über die Ausgabestände
. . . . . . . . . . .32
Umgebungsdruck
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .64
Umweltbedingungen
Umgebungsdruck
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .64
USB-Anschluss
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .103
V
Vakuum-Kappe
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .78
Verantwortung und Pflichten
. . . . . . . . . . . . . . . .60
Verriegeln des SIPLACE Wafer System
. . . . . . .58
Versorgungseinheit
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .68
Verwendung von Gefahrensymbolen
. . . . . . . . .35
W
Wafer-Arretierungsleiste
. . . . . . . . . . . . . . . . . . .75
Wafer-Aufnahme
. . . . . . . . . . . . . . . . . . 70, 74, 75
Wafer-Folie
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72, 78
Wafer-Kamera
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70, 73
Wafer-Map-Datei
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .21
Wafer-Tisch
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .73
Wafer-Wechsler
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .79
Wafer-Wechsler-System
. . . . . . . . . . . . . . . . . . .79
Warnschilder
W201
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39, 40, 41
W204
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39, 40, 41
W206
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .40
W210
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40, 42
Warnschilder am SIPLACE Wafer System
. . . . .39
X
XY-Unit
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
Stichwortverzeichnis Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS)
Ausgabe 02/2018
142