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Inhalt Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) Ausgabe 04/2018 6 4.1.3.1 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87 4.1.3.2 Transportmittel…
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Ausgabe 04/2018
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2.8.2 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
2.8.3 Testen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
2.8.4 Verantwortung und Pflichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
2.8.5 Schulung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
2.9 EGB-Richtlinien . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
2.9.1 Was bedeutet EGB? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
2.9.2 Wichtige Schutzmaßnahmen gegen statische Aufladung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
3 Technische Daten und Baugruppen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .63
3.1 Technische Daten - SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63
3.2 Umweltbedingungen und Anschlusswerte. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
3.2.1 Umweltbedingungen für das Verpacken, den Transport und die Lagerung. . . . . . 64
3.2.2 Umweltbedingungen für den Betrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
3.2.3 Elektrische Anschlusswerte und Energieverbrauch. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
3.2.4 Druckluftspezifikation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
3.2.5 Abmessungen und Gewicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
3.2.5.1 Übersicht der Abmessungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
3.2.6 Schwerpunkt des SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
3.3 Baugruppenübersichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
3.4 Beschreibung der SWS-Baugruppen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
3.4.1 Versorgungseinheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
3.4.2 Flip-Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .72
3.4.3 Wafer-Kamera-System. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73
3.4.4 Wafer-Tisch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73
3.4.4.1 Wafer-Aufnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75
3.4.5 Die-Ejector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 77
3.4.6 Ausstech-Tool . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78
3.4.7 Wafer-Wechsler-System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79
3.4.7.1 Magazin-Lift . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81
3.4.7.2 Justierbare Magazinplatte . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82
3.4.7.3 Wafer-Wechsler . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83
4 Aufstellen und Inbetriebnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .85
4.1 Anlieferungskonfiguration und Transport des SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
4.1.1 Transportverpackung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
4.1.1.1 Abmessungen der Transportverpackung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
4.1.1.2 Gewicht des versandfertigen SIPLACE Wafer System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
4.1.2 Das SWS in der Transportkiste transportieren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86
4.1.2.1 Dienstleistungsangebot . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86
4.1.2.2 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86
4.1.2.3 Transportmittel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86
4.1.3 Das SWS ohne Transportkiste oder Palette transportieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
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Ausgabe 04/2018
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4.1.3.1 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .87
4.1.3.2 Transportmittel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .87
4.1.3.3 Ansatzpunkte des Gabelstaplers am SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .88
4.1.3.4 Was Sie beim Transport des SWS unbedingt beachten sollten. . . . . . . . . . . . . . .88
4.2 Infrastruktur des Aufstellungsorts. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .89
4.2.1 Gewicht und Flächenlast . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .89
4.2.2 Druckluftversorgung am SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .89
4.2.3 Netzversorgung am SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .89
4.2.3.1 Gefahrenhinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .89
4.2.3.2 Netzversorgung überprüfen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .90
4.2.4 Entfernen der Transportsicherung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .91
4.2.5 Korrosionsschutzmittel von den Führungsschienen entfernen. . . . . . . . . . . . . . . .91
4.2.6 Stromversorgung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .91
5 Aufgaben am SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .93
5.1 Magazin befüllen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93
5.2 Magazin in den Magazin-Lift einsetzen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .94
5.2.1 Magazin-Lift aufschwenken und schließen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .94
5.3 Nadelkonfiguration am Ausstechsystem einrichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .95
5.3.1 Nadeln einstellen mit Kalibriernormal 03098221-xx. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .97
5.4 Tools und Pipetten an der Flip-Unit kontrollieren und rüsten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .99
5.5 Abwurfbehälter der Flip-Unit kontrollieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .100
5.6 Bauelemente am SWS mit Wafer-Wechsler-System nachfüllen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .100
5.7 Tätigkeiten zum Schichtwechsel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .100
5.8 Rüstung am SWS wechseln . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .101
5.9 Bedien- und Anzeigeelemente . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .102
5.9.1 Übersicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .102
5.9.2 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .103
5.9.3 Ergonomische Anordnung der Bedienelemente. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .104
5.9.3.1 Bedienelemente an den Bedienfeldern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .104
5.10 Ein- und Ausschalten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105
5.10.1 Einschalten des SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .105
5.10.2 Ausschalten des SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .105
5.11 Die Bedienoberfläche . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .106
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6 Optionen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .107
6.1 Pipettenwechsler . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107
6.1.1 Lage der Pipettenwechsler - Beispiel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107
6.2 Optionale Komponenten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
6.2.1 Linear-Dipping-Unit (LDU SWS). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
6.2.2 Die-Attach-Unit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110
6.2.3 Barcodescanner. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 111
6.3 SWS Wafer Stretcher (Expander). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .113
6.3.1 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 114
6.3.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 116
6.3.3 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 117
6.3.4 Stretch-Höhe mechanisch einstellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 118
6.3.4.1 Vorbereitungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 118
6.3.4.2 Einstellungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 119
6.3.5 Rahmenbreite bei 8" Waferaufnahme einstellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 120
6.3.5.1 Vorbereitungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 120
6.3.5.2 Einstellungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 121
6.3.6 SWS Wafer Stretcher (Expander) umbauen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122
6.3.6.1 Teile aus Nachrüstsatz 12" Wafer Expander . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 123
6.3.6.2 Vorbereitungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 124
6.3.6.3 Ausbau der 8" Waferaufnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 125
6.3.6.4 Unterschiede beim Umbau von 12" auf 8. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 135
7 Instandhaltung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 137