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3 Technische Daten und Baugruppen Betriebsanl eitung SIPLACE Wafer System (SWS) 3.2 Umweltbedingungen und Anschlusswerte Ausgabe 02/2018 66 3.2.5.1 Übersicht der Abmessungen 3 Abb. 3.2 - 1 Übersicht der Abmessungen - SIP…
Betriebsanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 3 Technische Daten und Baugruppen
Ausgabe 02/2018 3.2 Umweltbedingungen und Anschlusswerte
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3.2.4 Druckluftspezifikation
3
3.2.5 Abmessungen und Gewicht
3
Druckluftversorgung
Druckluftanschlusswerte
p
min
p
max
0,5 MPa = 5,0 bar
1,0 MPa = 10 bar
Betriebsdruck 0,48 MPa ± 0,025 MPa (4,8 bar ± 0,25 bar)
Druckluftanschluss Kunststoffschlauch PUN 6 zur SIPLACE CA4 V2.
Druckluftspezifikation
Teilchengröße 0,1 µm
Teilchendichte 0,1 mg/m³
Höchster Ölgehalt
(Klasse 1)
Teilchendichte 0,01 mg/m³
Drucktaupunkt
(Klasse 4)
Taupunkt + 3°
Länge 1650 mm
Breite 650 mm
Höhe des SWS
mit geöffneter Schiebetür
1479 mm
1940 mm bei LP-Transporthöhe 930 mm (Standard)
1910 mm bei LP-Transporthöhe 900 mm (Option)
1960 mm bei LP-Transporthöhe 950 mm (SMEMA)
Gewicht
ohne Magazin 350 kg
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3.2 Umweltbedingungen und Anschlusswerte Ausgabe 02/2018
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3.2.5.1 Übersicht der Abmessungen
3
Abb. 3.2 - 1 Übersicht der Abmessungen - SIPLACE Wafer System
(1) 1650 mm
(2) 650 mm
(3) 1479 mm
(4) 510 mm
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3.2.6 Schwerpunkt des SWS
3
Abb. 3.2 - 2 Schwerpunkt des SWS
3
Schwerpunktkoordinaten:
SWS X-Koordinate
Y-Koordinate
0 mm
650 mm