Fuji errorcode.pdf - 第3482页
<mc>NXT,AI M</mc> <cause /> <remedy /> <img /> </code> <code id="8 000F3A3"> <disp> 晶圆 拉出松开异 常（晶圆供应装 置） </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause />…
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F381">
<disp>在晶圆工作头的吸嘴头 4 上，从吸取元件的状态到停止真空破坏的时间出现延迟
得异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F3A0">
<disp>翻转交付位置动作异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：翻转交付位置的动作失败了。( 补充编码 )
</cause>
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F3A1">
<disp>翻转吸取位置异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：翻转吸取位置的动作失败了。( 补充编码 )
</cause>
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F3A2">
<disp>晶圆拉出夹紧异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F3A3">
<disp>晶圆拉出松开异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F3A4">
<disp>晶圆拉出位置上升异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F3A5">
<disp>晶圆拉出位置下降异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F3A6">
<disp>晶圆抽取夹的位置不明(晶圆喂料机)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：晶圆抽取夹既不在上升位置也不在下降位置。( 补充编码 )</cause>
<remedy>MWU12i：子码表示晶圆抽取夹的 I/O 输出状态。
0：未输出（刚启动的机器状态）
1：上升
2：下降
(1)：请查看晶圆抽取夹的附近是否有杂物。如果有杂物，请清理干净。
(3)：利用以下的信号使晶圆抽取夹上下移动而检测动作是否正常。
下降时输出 NY02B：下降=ON
输出 NY02A：上升=OFF
输出 NX027：检测到抽取夹在下降端=ON
NX026：检测到抽取夹在上升端=OFF
上升时输出 NY02A：上升=ON
输出 NY02B：下降=OFF
输出 NX026：检测到抽取夹在上升端=ON
NX027：检测到抽取夹在下降端=OFF
也有可能是汽缸驱动部内粘有杂物。
(3)：如果执行 1、2 仍然不能解除警报时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需
要对其进行调试或更换。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F3A7">
<disp>晶圆抽取夹下降异常(晶圆喂料机)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：检测出晶圆抽取夹下降异常。( 补充编码 )</cause>
<remedy>MWU12i：(1)：请检查晶圆抽取夹的附近是否有杂物。如果有杂物，请清理干
净。