Fuji errorcode.pdf - 第3484页

(2) ：利用以下的信号向晶圆抽取家下达上升指令，然后检测抽取家是否一直保持在上升端。输出 NY02A ：上升 = ON 输出 NY02B ：下降 =OFF 输出 NX026 ：检测出晶圆抽取夹在上升端 =ON (3) ：如果晶圆抽取夹不在上升端，则有可能是抽取夹的传感器发生异常或者汽缸发生故障，因此需要调试或更换相关部件。 </remedy > <img /> </cod…

<cause>MWU12i：晶圆抽取夹既不在上升位置也不在下降位置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：子码表示晶圆抽取夹的 I/O 输出状态。

0：未输出（刚启动的机器状态）

1：上升

2：下降

(1)：请查看晶圆抽取夹的附近是否有杂物。如果有杂物，请清理干净。

(3)：利用以下的信号使晶圆抽取夹上下移动而检测动作是否正常。

下降时输出 NY02B：下降=ON

输出 NY02A：上升=OFF

输出 NX027：检测到抽取夹在下降端=ON

NX026：检测到抽取夹在上升端=OFF

上升时输出 NY02A：上升=ON

输出 NY02B：下降=OFF

输出 NX026：检测到抽取夹在上升端=ON

NX027：检测到抽取夹在下降端=OFF

也有可能是汽缸驱动部内粘有杂物。

(3)：如果执行 1、2 仍然不能解除警报时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需

要对其进行调试或更换。</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆抽取夹下降异常(晶圆喂料机)</disp>

<cause>MWU12i：检测出晶圆抽取夹下降异常。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：(1)：请检查晶圆抽取夹的附近是否有杂物。如果有杂物，请清理干

净。

(2)：利用以下的信号向晶圆抽取家下达上升指令，然后检测抽取家是否一直保持在上升

端。

输出 NY02A：上升=ON

输出 NY02B：下降=OFF

输出 NX026：检测出晶圆抽取夹在上升端=ON

(3)：如果晶圆抽取夹不在上升端，则有可能是抽取夹的传感器发生异常或者汽缸发生故

障，因此需要调试或更换相关部件。</remedy>

<img />

</code>

<disp>内部处理异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：没有合适的吸嘴。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请重新打开机器的电源。２．如果通过步骤１仍然无法消除异

常，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>内部处理异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：用于排出吸嘴的空存放格不足。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请重新打开机器的电源。２．如果通过步骤１仍然无法消除异

常，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>内部处理异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：没有吸嘴的规格数据。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请重新打开机器的电源。２．如果通过步骤１仍然无法消除异

常，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴切换干涉确认异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴切换动作时有可能发生干涉，所以停止了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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</code>

<disp>吸嘴头１的吸嘴排出失败（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴头１的吸嘴排出失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号

码。)</cause>

<remedy>MWU12i：请拆卸对象吸嘴头的吸嘴并返回到对象的收存格中。</remedy>

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</code>

<disp>吸嘴头２的吸嘴排出失败（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴头２的吸嘴排出失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号

码。)</cause>

<remedy>MWU12i：请拆卸对象吸嘴头的吸嘴并返回到对象的收存格中。</remedy>