Fuji errorcode.pdf - 第3582页

<img /> </code> <code id="8 000F716"> <disp> 料盘箱门打开异常（晶圆供应装置） </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>N XT ：料盘箱门打开了。 ( 补充编码 )</cause> <remedy >NXT ：请关闭 …

<disp>真空压力低下异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：真空压力低下。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请确认真空压力，消除真空压力低下的原因。</remedy>

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<disp>真空泵压力低下异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：真空泵的真空压力低下。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请确认真空泵的真空压力，消除真空压力低下的原因。</remedy>

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<disp>真空泵变压器异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：检测出真空泵变压器的异常。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请确认真空泵的变压器。

在发布暂定信息、MWU12i 时进行修正。</remedy>

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<disp>真空泵温度保险丝断开异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：真空泵的温度保险丝断开了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请确认真空泵上部的温度保险丝，并进行更换。

在发布暂定信息、MWU12i 时进行修正。</remedy>

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<disp>料盘箱门打开异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：料盘箱门打开了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请关闭料盘箱门。</remedy>

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<disp>Tower slide 打开异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：Tower slide 打开了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请关闭 Tower slide。</remedy>

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<disp>滑动式盖罩打开异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆供料机的滑动式盖罩呈打开状态。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请关闭晶圆供料机的滑动式盖罩。</remedy>

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<disp>晶圆供料机的吸嘴更换器落座确认异常</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴更换器安装不良。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请打开晶圆供应机的安全门并安装吸嘴更换器。在安装了吸嘴更换

器的情况下，请确认传感器的状态[NX042]。</remedy>

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<disp>晶圆供料机的元件废弃 BOX 落座确认异常</disp>

<remedy>MWU12i：请打开晶圆供应机的安全门并安装元件废弃 BOX。安装了元件废弃

BOX 时，请确认传感器的状态[NX058]。</remedy>

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<disp>顶起筒更换器前进异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：顶起筒更换器未达到前进位置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认顶起筒更换器是否适当的进行前进与后退。

请确认传感器的输入状态是否与以下的状态一致。

・远程操作 I/O 输入的 Pin 号码 NX05C、NX05D

前进位置：NX05C 为 ON、 NX05D 为 OFF

后退位置：NX05C 为 OFF、NX05D 为 ON

</remedy>

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<disp>顶起筒更换器后退异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：顶起筒更换器后退失败了。( 补充编码 )</cause>