Fuji errorcode.pdf - 第3591页

<remedy >MWU12i ： 1. 请按下 [Read yOn] 或者 [COMP] 键重新开始运转。 2. 从机器中取出晶圆使机器重新开始运转，出现补充向导后，请再次安装好晶圆后使机器重新开始运转。 3. 请在补充向导画面上实行取出指令。 4. 上述的任何一种方法都无法消除异常时，请实行手动指令的 [Manage production]-[Clear wafer map] ，重启机器。 …

</cause>

<remedy>MWU12i：请缩短文件名。</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：设置文件名时使用了禁用的字符( 补充编码字母以及右侧显示的字符

为可以使用字符 !# $ % & - ` \ @ ~ / . _ : 注意：除了文件地址以外禁止使用: 字符。例 ×

A:Readme.txt ○ A:/Readme.txt 具有代表性的禁用文字 + ( ) { } 半角空格子码表示为存取类

型。１：读取２：写入３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：如果是使用了晶圆图文件名称所禁用的字符，那么请变更为可使用

的字符。</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图表文件存取失败(晶圆供料机)</disp>

<cause>MWU12i：没有找到晶圆图表文件。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：1.请按下[ReadyOn]或者[COMP]键重新开始运转。

2.从机器中取出晶圆使机器重新开始运转，出现补充向导后，请再次安装好晶圆后使机器

重新开始运转。

3.请在补充向导画面上实行取出指令。

4.上述的任何一种方法都无法消除异常时，请实行手动指令的[Manage production]-[Clear

wafer map]，重启机器。

此外，[Clear wafer map]指令只有在工程师的权限下才能显示。</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：试图打开超出限定数量的文件。( 补充编码的子码表示为存取类型。

１：读取２：写入３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：试图重复打开同一个文件。( 补充编码的子码表示为存取类型。１：

读取２：写入３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：没有目录。( 补充编码的子码表示为存取类型。１：读取２：写入

３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：(1)请升级对应 MWU 辅助软件的版本。(2)如果采取上述措施后还是

无法消除异常，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：使用未声明的标识符进行了文件操作。( 补充编码的子码表示为存取

类型。１：读取２：写入３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>