Fuji errorcode.pdf - 第3593页

<disp> 晶圆图文件存取失败（晶圆供料机） </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：使用了错误的文件标识符。 ( 补充编码的子码表示为存取类型。１：读取２：写入３：重命名 ) </cause> <remedy >MWU12i ：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务…

<remedy>MWU12i：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：没有目录。( 补充编码的子码表示为存取类型。１：读取２：写入

３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：(1)请升级对应 MWU 辅助软件的版本。(2)如果采取上述措施后还是

无法消除异常，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：使用未声明的标识符进行了文件操作。( 补充编码的子码表示为存取

类型。１：读取２：写入３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：使用了错误的文件标识符。( 补充编码的子码表示为存取类型。１：

读取２：写入３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：读取大小超过 128k 字节。( 补充编码的子码表示为存取类型。１：读

取２：写入３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：指定的读取大小不能读取所有数据。( 补充编码的子码表示为存取类

型。１：读取２：写入３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图表文件存取失败(晶圆供料机)</disp>

<cause>MWU12i：想要变更名称时，在同一路径中已存在相同名称的文件。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：1.请按下[ReadyOn]或者[COMP]键重新开始运转。

2.从机器中取出晶圆使机器重新开始运转，出现补充向导后，请再次安装好晶圆后使机器

重新开始运转。

3.请在补充向导画面上实行取出指令。

4.上述的任何一种方法都无法消除异常时，请实行手动指令的[Manage production]-[Clear

wafer map]，重启机器。

此外，[Clear wafer map]指令只有在工程师的权限下才能显示。</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：指定了未定义的打开模式。( 补充编码的子码表示为存取类型。１：

读取２：写入３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

<img />