Fuji errorcode.pdf - 第3580页

<disp>MWU 控制 I/F 板保险丝断开 </disp> <mc>NXT,AI M</m c> <cause>M WU12i ： MW U 控制 I/F 板的保险丝断开了 ( 补充编码 )</caus e> <remedy >MWU12i ：请更换 MWU 控制 I/F 板的保险丝。保险丝的更换方法请参考机械手册的「损耗品的更换」 - 「 …

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<disp>元件料尽显示闩锁 ON 异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：元件料尽闩锁 ON 控制时发生超时。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请按下[ReadyOn]按钮重新开始运转。

连续发生错误时，请关闭机器电源后，重新启动机器。</remedy>

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<disp>元件料尽显示闩锁 OFF 异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：元件料尽闩锁 OFF 控制时发生超时。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请按下[ReadyOn]按钮重新开始运转。

连续发生错误时，请关闭机器电源后，重新启动机器。</remedy>

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<disp>紧急停止 SWON 异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：按下了紧急停止 SW。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请解除紧急停止 SW。</remedy>

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<disp>MWU 控制 I/F 板保险丝断开</disp>

<cause>MWU12i：MWU 控制 I/F 板的保险丝断开了( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请更换 MWU 控制 I/F 板的保险丝。保险丝的更换方法请参考机械手

册的「损耗品的更换」-「MWU 控制 I/F 板保险丝的更换」。

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<disp>风机旋转异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：检测出以下其中之一的风机的异常。

・吸气风机

・排气风机 1

・排气风机 2

・其他风机( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请打开机器右侧面盖罩后确认控制电路板的 LED（PL13～18），消除异

常原因。

在发布暂定信息、MWU12i 时进行修正。</remedy>

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<disp>气源压力低下异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：气源压力低下。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请确认气源压力，消除气源压力低下的原因。</remedy>

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<disp>真空压力低下异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：真空压力低下。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请确认真空压力，消除真空压力低下的原因。</remedy>

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<disp>真空泵压力低下异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：真空泵的真空压力低下。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请确认真空泵的真空压力，消除真空压力低下的原因。</remedy>

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<disp>真空泵变压器异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：检测出真空泵变压器的异常。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请确认真空泵的变压器。

在发布暂定信息、MWU12i 时进行修正。</remedy>

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<disp>真空泵温度保险丝断开异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：真空泵的温度保险丝断开了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请确认真空泵上部的温度保险丝，并进行更换。

在发布暂定信息、MWU12i 时进行修正。</remedy>