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Tg0531-PM-SO 異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 6f160c トレイ 1 フィーダ 駆動波形のセットに失敗しました。 (0601) 原点復帰動作異常 6f160d トレイ 1 フィーダ パレットを検出できませんでした。センサ異常。 (BPS514) 原点復帰動作異常 (0701) 6f160e トレイ 1 フィーダ 所定…
Tg0531-PM-SO
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
6f1301 トレイ 1 パレット エレベータ引出しレベル移動動作異常(動作前)
引き出し動作異常
6f1302 トレイ 1 パレット エレベータ引出しレベル移動動作異常(動作中)
引き出し動作異常
6f1303
6f1401 トレイ 1 パレット 引き出し動作開始時パレット無し
引き出し動作異常
6f1402 トレイ 1 パレット トラバースチャック位置移動動作異常(動作前)
引き出し動作異常
6f1403 トレイ 1 パレット トラバースチャック位置移動動作異常(動作中)
引き出し動作異常
6f1404 トレイ 1 パレット トラバース引き出し位置移動動作異常(動作前)
引き出し動作異常
6f1405 トレイ 1 パレット トラバース引き出し位置移動動作異常(動作中)
引き出し動作異常
6f1406 トレイ 1 パレット 引き出し動作終了時パレット無し
引き出し動作異常
6f1407 トレイ 1 パレット
引き出し動作異常
6f1501 トレイ 1 エレベータ 交換位置移動異常(動作前)
交換位置移動異常
6f1502 トレイ 1 エレベータ 交換位置移動異常(動作中)
交換位置移動異常
6f1503 トレイ 1 エレベータ
交換位置移動異常
6f1601 トレイ 1 フィーダ ラックシャッタが所定時間以内にオープンしませんでした。
原点復帰動作異常 (0101)
6f1602 トレイ 1 フィーダ パレットチャック爪が所定時間以内にクローズしませんで
原点復帰動作異常 した。(0201)
6f1603 トレイ 1 フィーダ パレットの引き出しが行われていない状態でパレットを検
原点復帰動作異常 出しました。(0202)
6f1604 トレイ 1 フィーダ 駆動波形のセットに失敗しました。(0203)
原点復帰動作異常
6f1605 トレイ 1 フィーダ パレットの引き出しが行われていない状態でパレットの飛
原点復帰動作異常 び出しを検出しました。(0301)
6f1606 トレイ 1 フィーダ トラバースの原点復帰が所定時間以内に終了しませんでし
原点復帰動作異常 た。(0302)
6f1607 トレイ 1 フィーダ トラバースの原点復帰が所定時間以内に終了しませんでし
原点復帰動作異常 た。(0303)
6f1608 トレイ 1 フィーダ 駆動波形のセットに失敗しました。(0401)
原点復帰動作異常
6f1609 トレイ 1 フィーダ パレットの引き出しが行われた状態でパレットを検出でき
原点復帰動作異常 ませんでした。(0402)
6f160a トレイ 1 フィーダ パレットの引き出しが行われた状態でパレットを検出でき
原点復帰動作異常 ませんでした。(0403)
6f160b トレイ 1 フィーダ パレットを検出できませんでした。引き出し履歴をクリア
原点復帰動作異常 しました。(BPS514)(0501)
0107-001 4-49
2.3.3 異常表示と復帰方法
Tg0531-PM-SO
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
6f160c トレイ 1 フィーダ 駆動波形のセットに失敗しました。(0601)
原点復帰動作異常
6f160d トレイ 1 フィーダ パレットを検出できませんでした。センサ異常。(BPS514)
原点復帰動作異常 (0701)
6f160e トレイ 1 フィーダ 所定時間以内にパレットを検出できませんでした。(0702)
原点復帰動作異常
6f160f トレイ 1 フィーダ 駆動波形のセットに失敗しました。(0901)
原点復帰動作異常
6f1610 トレイ 1 フィーダ 駆動波形のセットに失敗しました。(0901)
原点復帰動作異常
6f1611 トレイ 1 フィーダ 駆動波形のセットに失敗しました。(1101)
原点復帰動作異常
6f1613 トレイ 1 フィーダ パレットの飛び出しを検出しました。(1202)
原点復帰動作異常
6f1614 トレイ 1 フィーダ パレットを検出できませんでした
原点復帰動作異常
6f1615 トレイ 1 フィーダ パレットの引き出しが行われていないため、エレベータが
原点復帰動作異常 返却段に移動できませんでした。(1301)
6f1616 トレイ 1 フィーダ エレベータの返却段移動が異常終了しました。(1302)
原点復帰動作異常
6f1617 トレイ 1 フィーダ エレベータの返却段移動が異常終了しました。(1401)
原点復帰動作異常
6f1618 トレイ 1 フィーダ ラックシャッタが所定時間以内にオープンしませんでした。
原点復帰動作異常 (1501)
6f1619 トレイ 1 フィーダ チャック爪が所定時間以内にオープンしませんでした。
原点復帰動作異常 (1502)
6f161a トレイ 1 フィーダ ラックシャッタが所定時間以内にクローズしませんでした。
原点復帰動作異常 (1601)
6f161b トレイ 1 フィーダ チャック爪が所定時間以内にクローズしませんでした。
原点復帰動作異常 (1602)
6f161c トレイ 1 フィーダ ラックシャッタが所定時間以内にクローズしませんでした。
原点復帰動作異常 (1701)
6f161d トレイ 1 フィーダ トラバースの原点復帰が異常終了しました。(0304)
原点復帰動作異常
6f161e トレイ 1 フィーダ トラバースの原点復帰が異常終了しました。(1801)
原点復帰動作異常
6f161f トレイ 1 フィーダ L1 軸が原点位置にない為原点復帰を行えませんでした。
原点復帰動作異常 (2000)
6f1620 トレイ 1 フィーダ L2 軸が原点位置にない為原点復帰を行えませんでした。
原点復帰動作異常 (2001)
6f1621 トレイ 1 フィーダ L1 軸が原点位置にない為原点復帰を行えませんでした。
原点復帰動作異常 (2100)
6f1622 トレイ 1 フィーダ LL1 軸が原点位置にない為原点復帰を行えませんでした。
原点復帰動作異常 (2100)
6f1623 トレイ 1 フィーダ トレイの戻り位置にトレイを検知しました。(1503)
原点復帰動作異常
6f1624 トレイ 1 フィーダ チャック爪が所定時間以内にクローズしませんでした。
原点復帰動作異常 (2201)
0107-001 4-50
2.3.3 異常表示と復帰方法
Tg0531-PM-SO
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
6f1625 トレイ 1 フィーダ チラックシャッタが所定時間以内にクローズしませんでし
原点復帰動作異常 た。(2301)
6f1626 トレイ 1 フィーダ エレベータの返却段移動が異常終了しました。(2401)
原点復帰動作異常
6f1627 トレイ 1 フィーダ エレベータの返却段移動が異常終了しました。(2501)
原点復帰動作異常
6f1628 トレイ 1 フィーダ パレット検出センサ不良。(BPS514)(1603)
原点復帰動作異常
6f1629 トレイ 1 フィーダ パレット検出センサ不良。(BPS514)(2601)
原点復帰動作異常
6f162a トレイ 1 フィーダ エレベータの原点復帰が異常終了しました。(2701)
原点復帰動作異常
6f162b トレイ 1 フィーダ エレベータの原点復帰が異常終了しました。(2801)
原点復帰動作異常
6f162c トレイ 1 フィーダ エレベータの原点復帰が異常終了しました。(2901)
原点復帰動作異常
6f162d トレイ 1 フィーダ 原点センサ未検出。(3001)
原点復帰動作異常
6f1701 トレイ 1 フィーダ エレベータ原点位置でパレットを検出しました(BPS514)。
原点復帰動作異常 (5001)
0309-002 4-51
2.3.3 異常表示と復帰方法