KE2040取扱説明書Ver.2.01和文Rev.04.pdf - 第309页
4 - 204 吸着高さ追尾の条件設定で「計測値の取り込み動作 を行う」を設定した場合、 HMSで の計測値を吸着データのZ座標に取り込むかどうか の問い合わせダイアログが 表示され ます。 取り込む場合は「はい」を押して下さい。 吸着高さ追尾の 条件設定で「 カメラで位置確認を する」を設定 した場合、VCSモ ニタ ーに吸着位置を 映し出します ので、以下のダイア ログが表示さ れたら目視で確認し て下 さい。 …

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吸着追尾でのティーチング操作の流れ
吸着追尾でのティーチング操作の流れ吸着追尾でのティーチング操作の流れ
吸着追尾でのティーチング操作の流れ
吸着座標
XYZエディットボックス
に入力フォーカス
HOD
デバイスキー押下
ENTER
CANCEL
ティーチング操作
[設定」ボタンまたは
ENTERを押す
吸着データ変更
[取消]ボタンまたは
CANCELを押す
座標確定後
(7) 吸着高さ追尾時の各点での動作
吸着高さ追尾時の各点での動作吸着高さ追尾時の各点での動作
吸着高さ追尾時の各点での動作
吸着高さ追尾の条件設定で「計測値との差分があれば停止する」を設定した場合、計測値
との差分があれば以下の様なダイアログが表示されます。
自動送りの場合は停止しますので吸着データの高さ値を確認して下さい。
吸着高さ追尾の条件設定で「計測できなければ停止する」を設定した場合、HMSで計測
できなければ以下の様なダイアログが表示されます。
自動送りの場合は停止しますので吸着データの吸着位置を確認して下さい。

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吸着高さ追尾の条件設定で「計測値の取り込み動作を行う」を設定した場合、HMSで
の計測値を吸着データのZ座標に取り込むかどうかの問い合わせダイアログが表示され
ます。
取り込む場合は「はい」を押して下さい。
吸着高さ追尾の条件設定で「カメラで位置確認をする」を設定した場合、VCSモニタ
ーに吸着位置を映し出しますので、以下のダイアログが表示されたら目視で確認して下
さい。
位置が正しければ「はい」を、吸着位置をティーチングし直したい場合は「いいえ」
を押して(6)項のティーチング操作を行って下さい。

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(8) 追尾中のSOT方向検査
追尾中のSOT方向検査追尾中のSOT方向検査
追尾中のSOT方向検査
追尾一時停止中は、SOT方向検査を実施することが可能です。
◇SOT方向検査中は、以下の画面が表示されます。
◇SOT方向検査後、検査結果が結果「OK」「NG」で表示されます。
(9) 追尾中のベリファイ検査
追尾中のベリファイ検査追尾中のベリファイ検査
追尾中のベリファイ検査
追尾一時停止中は、ベリファイ検査を実施することが可能です。
◇ベリファイ検査中は、以下の画面が表示されます。
◇ベリファイ検査後、検査測定値および結果「OK」「NG」で表示されます。